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龙图腾网获悉福建金石能源有限公司申请的专利用于镀多种膜层且具有匀气功能的PECVD系统及镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120575158B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511030270.1，技术领域涉及：C23C16/50；该发明授权用于镀多种膜层且具有匀气功能的PECVD系统及镀膜方法是由杨与胜;单洪青;刘义军;黄文智;郭礼贤;余清设计研发完成，并于2025-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于镀多种膜层且具有匀气功能的PECVD系统及镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明属于太阳能电池制造领域，具体涉及一种用于镀多种膜层且具有匀气功能的PECVD系统及镀膜方法，针对不同的反应腔设置对应的布气盒，并通过设置布气盒对气流进行分散匀气，并且布气盒针对中心区域和周边区域分别进行流量控制，以保证不同区域的气体浓度尽可能一致，同时通过设置倾斜的层流板配合中心的匀气板的结构分布，进一步提高了大腔室内各区域的气流均匀性，从而有利于提高镀膜膜层的均匀性，进而提升太阳电池的质量和稳定性。

本发明授权用于镀多种膜层且具有匀气功能的PECVD系统及镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种用于镀多种膜层且具有匀气功能的PECVD系统，用于制备异质结太阳电池，所述PECVD系统包括依次通过门阀连接的进片预热腔、一站式镀膜模组和冷却出片腔，所述一站式镀膜模组包括隔离腔和若干用于镀不同膜层的工艺腔，其特征在于，所述工艺腔包括： 腔体结构，所述腔体结构包括腔盖、腔底以及位于所述腔盖和腔底之间的反应腔室，所述反应腔室内设置有用于承载工件的载板； 布气盒，所述布气盒设置在所述腔盖和所述载板之间，所述布气盒划分为中心匀气区域和周边匀气区域，所述中心匀气区域和所述周边匀气区域的气流分别通过对应的控制阀门进行控制，以调节对应区域的气流流量； 所述布气盒包括上布气板、下布气板以及位于所述上布气板上表面的进气管路组件，所述上布气板和所述下布气板之间设置有匀气板和多个层流板，所述匀气板位于所述中心匀气区域，多个所述层流板分别位于所述周边匀气区域并围绕在所述匀气板的四周，所述层流板均呈一定角度倾斜设置，且靠近所述匀气板的边缘要高于远离所述匀气板的边缘； 控制单元，所述控制单元分别与所述控制阀门电性连接，用于根据当前工艺腔内前一次的镀膜均匀性调节对应控制阀门的参数； 所述上布气板的中心设置有第一进气口，所述上布气板的四周设置有多个第二进气口；所述匀气板位于所述第一进气口的下方，所述层流板位于所述第二进气口的下方；所述层流板的数量为四个，四个所述层流板均匀分布在所述匀气板的四周，四个所述层流板在所述下布气板上的正投影围合形成间断的圆环结构；所述匀气板沿第一方向的两侧分别设置有挡流板，所述挡流板沿所述第一方向的两端分别延伸至对应位置的四个所述层流板，且所述挡流板与所述层流板之间留有预设间隙；所述挡流板的端部沿所述第一方向偏向第二方向外扩，使得同一端的所述挡流板的端部之间形成气流扩散口，所述气流扩散口正对着相邻的两个所述层流板之间沿所述第二方向的间断区域；其中，所述第二方向为所述布气盒的另外一条中心对称线所在的方向。

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