宜春宇泽新能源有限公司彭云祥获国家专利权
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龙图腾网获悉宜春宇泽新能源有限公司申请的专利一种电解超声辅助切割硅片的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120588381B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510923081.0，技术领域涉及：B28D5/04；该发明授权一种电解超声辅助切割硅片的方法是由彭云祥;胡小辉;许堃;吴松;罗金平;周兵;龚建国;彭金丽设计研发完成，并于2025-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电解超声辅助切割硅片的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电解超声辅助切割硅片的方法，通过分阶段协同优化切割模式提升硅片质量与效率。初始切割阶段0‑15%深度采用210‑250V高电压电火花模式，结合2000‑2900μmmin进给速度及小周期送线，非接触式切割减少表层微裂纹及入刀崩缺；中间切割阶段15‑85%深度切换至36‑48V小电压电解辅助模式，以电解液电化学腐蚀为主，降低金刚石磨粒磨损，填充微观裂纹实现均匀剥离，改善截面平整度；收尾阶段85‑100%深度采用超声波辅助切割，450‑860μmmin低速进给下，超声振动使磨粒间歇分离避免出口黏着崩边，同时加速排屑防止热应力裂纹。该方法通过复合切割技术叠加，提升了切割效率，降低了硅片表面摩擦线痕值，减小了边缘端面损伤。
本发明授权一种电解超声辅助切割硅片的方法在权利要求书中公布了：1.一种电解超声辅助切割硅片的方法，其特征在于，包括以下步骤： 初始切割阶段：晶棒的切割深度处于0-15%，采用电压为210-250V的高电压电火花切割模式；工作台的进给速度控制在2000-2900μmmin之间；送线回线周期采用小周期模式，其中所述小周期定义为单次送线量与回线量之和小于1200m； 中间切割阶段：所述晶棒的切割深度处于15-85%，采用电压为36-48V的小电压电解辅助切割模式，以电解液辅助的电化学腐蚀切割为主；所述工作台的进给速度控制在1500-1900μmmin之间；所述送线回线周期同样采用小周期模式； 收尾切割阶段：所述晶棒的切割深度处于85-100%，采用超声波辅助切割模式，所述工作台的进给速度控制在450-860μmmin之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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