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上海朋熙半导体有限公司张强获国家专利权

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龙图腾网获悉上海朋熙半导体有限公司申请的专利基于多维关联性分析的工艺步骤定位方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120687295B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511187725.0,技术领域涉及:G06F11/07;该发明授权基于多维关联性分析的工艺步骤定位方法和装置是由张强;蒋越;赵京雷设计研发完成,并于2025-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

基于多维关联性分析的工艺步骤定位方法和装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于多维关联性分析的工艺步骤定位方法和装置,方法包括以下步骤:收集CP测试项数据及工艺步骤参数的历史数据;对历史数据进行清洗与特征工程处理;并行执行卡方检验、相关性分析及树模型分析,分别输出卡方显著性结果、相关性系数及特征重要性排序;基于卡方显著性结果、相关性系数绝对值及特征重要性排序,计算各工艺步骤的综合关联度;根据综合关联度定位导致CP测试异常的工艺步骤。本发明能够整合多维度分析结果、精准定位异常工艺步骤。

本发明授权基于多维关联性分析的工艺步骤定位方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种基于多维关联性分析的工艺步骤定位方法,其特征在于,包括以下步骤: 收集CP测试项数据及工艺步骤参数的历史数据; 对历史数据进行清洗与特征工程处理;并行执行卡方检验、相关性分析及树模型分析,分别输出卡方显著性结果、相关性系数及特征重要性排序; 基于卡方显著性结果、相关性系数绝对值及特征重要性排序,计算各工艺步骤的综合关联度; 根据综合关联度定位导致CP测试异常的工艺步骤; 卡方检验的步骤为: 以离散化后的工艺参数为类别变量,CP测试结果为二分类变量; 当p值0.05时,判定工艺步骤与CP异常显著相关; 相关性分析的步骤为: 计算连续工艺参数与CP测试值的皮尔逊相关性系数或斯皮尔曼相关性系数; 以相关性系数绝对值作为关联强度指标; 树模型分析的步骤为: 采用RandomForest、Xgboost或Lightgbm构建二分类模型; 以工艺参数为输入特征,CP测试结果为预测目标; 输出工艺参数的特征重要性排序。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海朋熙半导体有限公司,其通讯地址为:201206 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区新金桥路1348号213室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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