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龙图腾网获悉浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆表面检测的夹持装置系统及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120715824B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511136263.X，技术领域涉及：B25B11/00；该发明授权一种晶圆表面检测的夹持装置系统及其检测方法是由朱潇;肖尚青;张成满;何振南;田馥榕设计研发完成，并于2025-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆表面检测的夹持装置系统及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆表面检测的夹持装置系统及其检测方法，多组夹持装置呈环形设置于工作台周围，用于夹持外部送入的晶圆，夹持装置包括：伸缩步进电机、设置于伸缩步进电机侧边的基座、与伸缩步进电机的驱动端连接的推拉杆以及设于推拉杆前端的夹爪，推拉杆沿基座进行导向移动，基座上安装有接近开关，推拉杆上固定有限位块，限位块在基座上具有第一位置、第二位置和第三位置，在夹持装置中设置接近开关，接近开关的感应端正对夹爪夹取晶圆时的极限位置，实时监测夹持动作，确保每次夹取动作都能被准确监测，当接近开关没有被触发，系统会自动进行一次夹爪初始化并再次尝试夹持，从而有效避免了因夹爪未夹紧而导致的晶圆掉落问题。

本发明授权一种晶圆表面检测的夹持装置系统及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面检测的夹持装置系统，多组夹持装置2呈环形设置于工作台1周围，用于夹持外部送入的晶圆100，夹持装置2包括：伸缩步进电机20、设置于伸缩步进电机20侧边的基座21、与伸缩步进电机20的驱动端连接的推拉杆22以及设于推拉杆22前端的夹爪23，所述推拉杆22沿基座21进行导向移动，其特征是： 所述基座21上安装有接近开关24，所述推拉杆22上固定有限位块25，所述限位块25在所述基座21上具有第一位置、第二位置和第三位置，所述推拉杆22通过伸缩步进电机20驱动带动限位块25在基座21上沿第一位置、第二位置和第三位置移动； 当推拉杆22带动限位块25处于第一位置时，限位块25处于接近开关24检测范围外，所述夹爪23接触晶圆100的底壁；当推拉杆22带动限位块25处于第二位置时，限位块25触发接近开关24且夹爪23完全夹紧晶圆100周缘；当推拉杆22带动限位块25处于第三位置时，限位块25远离接近开关24且夹爪23释放晶圆100复位至初始位置； 其中，所述夹爪23后端通过螺栓固定于推拉杆22前端，夹爪23前端设有水平支撑面218与垂直抵靠面219；当推拉杆22带动限位块25处于第一位置时，支撑面218支撑晶圆100的底面，抵靠面219与晶圆100的周缘具有间隙；当推拉杆22带动限位块25处于第二位置时，支撑面218支撑晶圆100的底面，抵靠面219压紧晶圆100的周缘； 所述夹持装置系统还包括控制系统，所述控制系统与所述接近开关24和所述伸缩步进电机20电性连接，并被设置为： 当限位块25触发接近开关24时，夹爪23压紧晶圆100周缘，接近开关24反馈信号至控制系统；若任一组夹爪23的限位块25未触发接近开关24，控制系统立即执行夹爪23复位，退回第三位置后重新移动至第二位置，直至所有接近开关24均被触发。

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