北京子牛亦东科技有限公司胡如健获国家专利权
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龙图腾网获悉北京子牛亦东科技有限公司申请的专利一种化学气相沉积喷淋头及其加工工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120738628B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511248829.8，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种化学气相沉积喷淋头及其加工工艺是由胡如健;裴德奎设计研发完成，并于2025-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积喷淋头及其加工工艺在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体技术领域的一种化学气相沉积喷淋头及其加工工艺，化学气相沉积喷淋头包括：喷气盘，所述喷气盘上设有多个气孔；顶盖，所述顶盖设于所述喷气盘一侧并与所述喷气盘固定，所述顶盖与所述喷气盘之间形成气腔，所述顶盖上设有气道；中空联接柱，所述中空联接柱设于气腔内，所述中空联接柱为两端开口的筒状结构，所述中空联接柱的两端分别与喷气盘和顶盖固定连接。本申请的化学气相沉积喷淋头可以有效控制喷气盘的变形，提升各气孔与晶圆距离的一致性，从而提高器件的性能。
本发明授权一种化学气相沉积喷淋头及其加工工艺在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积喷淋头，其特征在于，包括： 喷气盘，所述喷气盘上设有多个气孔； 顶盖，所述顶盖设于所述喷气盘一侧并与所述喷气盘固定，所述顶盖与所述喷气盘之间形成气腔，所述顶盖上设有气道； 中空联接柱，所述中空联接柱设于气腔内，所述中空联接柱为两端开口的筒状结构，所述中空联接柱的两端分别与喷气盘和顶盖固定连接； 所述中空联接柱设有多个，多个所述中空联接柱环绕气腔中部间隔设置，所述中空联接柱包括由外至内依次套设的多个分体套筒，每相邻两个所述分体套筒之间形成间隔，多个所述分体套筒的长度由内至外依次减小，各所述分体套筒朝向顶盖的一端分别与所述顶盖固定连接，且位于最内侧的分体套筒的另一端与喷气盘固定连接。
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