合肥晶合集成电路股份有限公司文少林获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利半导体结构、背照式图像传感器及制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120769577B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511232543.0,技术领域涉及:H10F39/00;该发明授权半导体结构、背照式图像传感器及制作方法是由文少林;杨军设计研发完成,并于2025-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体结构、背照式图像传感器及制作方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种半导体结构、背照式图像传感器及制作方法,属于半导体技术领域。该半导体结构包括:衬底;光电二极管结构,多个所述光电二极管结构设置于所述衬底;第一隔离结构,设置于所述光电二极管结构之间;金属格栅,设置于所述第一隔离结构上;第二隔离结构,设置于所述金属格栅表面;所述第二隔离结构包括层叠的多个氧化层,靠近所述金属格栅的所述氧化层中的C含量高于远离所述金属格栅的所述氧化层中C含量。该背照式图像传感器可以避免金属格栅发生坍缩,从而确保背照式图像传感器的性能。
本发明授权半导体结构、背照式图像传感器及制作方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体结构,其特征在于,包括: 衬底; 光电二极管结构,多个所述光电二极管结构设置于所述衬底; 第一隔离结构,设置于所述光电二极管结构之间; 金属格栅,设置于所述第一隔离结构上; 第二隔离结构,设置于所述金属格栅表面;所述第二隔离结构包括层叠的多个氧化层,靠近所述金属格栅的所述氧化层中的C含量高于远离所述金属格栅的所述氧化层中C含量;所述第二隔离结构中远离所述金属格栅的所述氧化层的表面具有隔离层; 所述隔离层的形成过程包括: 对最外层的氧化层进行第一表面处理,去除所述最外层的氧化层表面的C; 对最外层的氧化层进行第二表面处理,在所述最外层的氧化层表面形成隔离层。
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