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龙图腾网获悉江苏派莱特光电科技有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜机的晶控装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120776262B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511269309.5，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种磁控溅射镀膜机的晶控装置是由王凯;杨磊;高岗;李明;马帅;朱九菊;刘年生;唐欢欢;朱嘉琦设计研发完成，并于2025-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磁控溅射镀膜机的晶控装置在说明书摘要公布了：本发明涉及镀膜机技术领域，具体为一种磁控溅射镀膜机的晶控装置，包括镀膜机，所述镀膜机的内部通过电机转动设置有旋转架，且旋转架内部的上方固定设置有若干个固定板，其中，若干个固定板关于旋转架的中心轴线呈等角度分布设置，且若干个固定板的正下方均设置有靶材坩埚。本发明中的晶体片通过电磁铁实现磁性吸附初步固定，配合安装橡胶圈及弹性支撑点完成机械辅助固定，无需工具即可实现晶体片的快速拆装；同时，晶控应用架集成换片槽、超声清洗槽及废片放置槽，且晶体片的转移与处理无需破坏镀膜机主真空腔体环境，大幅缩短晶体片更换与维护时间，适配连续批量生产需求。

本发明授权一种磁控溅射镀膜机的晶控装置在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜机的晶控装置，其特征在于，包括镀膜机1，所述镀膜机1的内部通过电机转动设置有旋转架33，且旋转架33内部的上方固定设置有若干个固定板2，其中，若干个固定板2关于旋转架33的中心轴线呈等角度分布设置，且若干个固定板2的正下方均设置有靶材坩埚；所述固定板2的底部固定设置有支撑架3，且支撑架3的下方活动设置有工件放置架7，所述工件放置架7的底部设置有镀膜工件组件；所述支撑架3的内部滑动设置有升降控制架6，所述升降控制架6表面的下方还通过螺栓固定设置有连接架12，且连接架12的底部通过螺栓固定设置有晶控辅助架5，所述晶控辅助架5的内部对称设置有两个晶控应用架13，且晶控辅助架5底部的两侧对称设置有晶控通槽17；所述工件放置架7的外周面活动设置有晶控调控架4，且晶控调控架4的内部设置有晶控组件； 所述升降控制架6的底端与工件放置架7的顶部固定连接，所述镀膜工件组件包括固定设置在工件放置架7底部的静电吸盘28，且静电吸盘28的底部吸附设置有镀膜工件19； 所述晶控调控架4的底部固定设置有若干个限位架18，且若干个限位架18关于晶控调控架4的中心轴线呈等角度分布设置；所述晶控调控架4的顶部固定设置有调节电机23，所述调节电机23的输出轴底端通过联轴器固定设置有调节丝杠22，所述限位架18的内部上下滑动设置有调节块21，且调节丝杠22的底端与调节块21的内部螺纹连接；所述调节块21的底部固定设置有晶体安装架24，且晶体安装架24底部的中部设置有安装槽25，所述晶体安装架24的底部活动设置有晶体片20，且晶体片20顶部的中部以及安装槽25内部的上方均固定设置有电磁铁26，两个电磁铁26之间通过磁性吸附连接；所述晶体安装架24底部的外周还固定设置有安装橡胶圈27，且安装橡胶圈27的底部等角度分布设置有三个弹性支撑点，三个弹性支撑点的底部均与晶体片20的顶部接触； 利用调节电机23的输出轴控制调节丝杠22进行转动，随着调节丝杠22的顺时针转动，让调节块21在限位架18的内部向下滑动，反之，随着调节丝杠22的逆时针转动，让调节块21在限位架18的内部向上滑动；从而对晶体安装架24底部的晶体片20进行高度的调控处理，控制晶体片20与镀膜工件19的底端面处于同一高度。

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