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龙图腾网获悉西安普晶半导体设备有限公司申请的专利一种半导体切片机用切割定位方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120782865B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511262106.3，技术领域涉及：G06T7/73；该发明授权一种半导体切片机用切割定位方法及系统是由程国平;刘敏;王坡;杨朝辉;韩佳设计研发完成，并于2025-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体切片机用切割定位方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及切割定位技术领域，尤其涉及一种半导体切片机用切割定位方法及系统，方法包括：获取待定位晶圆的初始图像，将初始图像转换为灰度图像，计算灰度图像中各像素点的稳健分数；基于灰度图像计算用于表征图像污染程度的第一异常指标和第二异常指标；根据第一异常指标和第二异常指标，计算得到自适应掩膜阈值；对比各像素点的稳健分数与自适应掩膜阈值，生成用于屏蔽污染区域的掩膜；利用掩膜对灰度图像和预设的模板图像进行模板匹配，以确定定位标记的位置。本发明提高了最终产品的切割成功率，满足了切割晶圆的需要。

本发明授权一种半导体切片机用切割定位方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体切片机用切割定位方法，其特征在于，包括步骤： 计算灰度图像中像素点的稳健标准差，表达式为：；式中，表示灰度图像中像素点的稳健标准差，表示缩放系数，med表示中值函数，I表示灰度图像中像素点的灰度值，表示灰度图像中灰度值的中位数； 获取待定位晶圆的初始图像，将初始图像转换为灰度图像，计算灰度图像中各像素点的稳健分数，其表达式为：；式中，表示灰度图像中像素点x的稳健分数，表示灰度图像中像素点x的灰度值，表示超参数，稳健分数用于表征像素点灰度值与整体灰度分布的偏离程度；基于灰度图像计算用于表征灰度图像污染程度的第一异常指标和第二异常指标； 将稳健分数大于预设的稳健阈值的像素点作为特征像素点，对特征像素点进行连通域分析得到特征区域； 第一异常指标的表达式为： ；； 式中，q表示灰度图像的第一异常指标，表示特征区域i的紧致度，表示特征区域i的面积，tanh表示双曲正切函数，M表示灰度图像中特征区域的个数，i表示特征区域的索引，表示特征区域i的周长； 将初始图像转换为HSV颜色空间图像，获取与灰度图像中特征区域相应对应的区域，将该区域中V值大于等于预设的亮度阈值的像素点作为标记像素点，将标记像素点映射至灰度图像中，对特征区域作第一最小外接圆，对标记像素点作第二最小外接圆； 第二异常指标的表达式为：； 式中，表示灰度图像的第二异常指标，表示第二最小外接圆与第一最小外接圆面积的比值； 根据第一异常指标和第二异常指标，计算灰度图像的自适应掩膜阈值，包括：；式中，表示灰度图像的自适应掩膜阈值，表示灰度图像的基准掩膜阈值，、分别表示灰度图像掩膜阈值的最小值和最大值，clip表示裁剪函数，其中，第一异常指标和第二异常指标的值越大，自适应掩膜阈值越小；对比各像素点的稳健分数与自适应掩膜阈值，生成用于屏蔽污染区域的掩膜，其包括：；式中，表示灰度图像像素点x的掩膜，表示灰度图像的自适应掩膜阈值； 利用掩膜对灰度图像和预设的模板图像进行模板匹配，以确定定位标记的位置。

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