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龙图腾网获悉江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司申请的专利机械手、半导体设备以及机械手的调节方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120784205B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511287250.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权机械手、半导体设备以及机械手的调节方法是由田玉峰;梁德富;林佳继设计研发完成，并于2025-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本机械手、半导体设备以及机械手的调节方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种机械手、半导体设备以及机械手的调节方法，涉及半导体技术领域，解决了机械手不能灵活调节吸附部伸出长度的技术问题。机械手包括移动部与固定部，移动部与固定部密封连接，移动部具有通槽，夹具具有容纳槽；移动部的末端设置有能够吸附基板的吸附端，吸附端上设置有吸附孔，移动部形成有贯通的第一气道，第一气道与吸附孔连通；固定部内部形成有第二气道，第二气道与第一气道连通，并通过第一气道与吸附孔连通；移动部能够相对固定部移动以改变移动部的伸出长度，从而灵活调节吸附端的位置，以便容纳槽的外凸壁部分伸入通槽后，使移动部与夹具对应匹配后向夹具中放置基板或者从夹具中取出基板，调节方便、省时省力。

本发明授权机械手、半导体设备以及机械手的调节方法在权利要求书中公布了：1.一种机械手，所述机械手设置于半导体设备中，用于向所述半导体设备的夹具中放置基板或从所述夹具中取出所述基板，其特征在于： 所述机械手包括移动部与固定部，所述移动部与所述固定部密封连接，其中，所述移动部具有通槽，所述夹具具有容纳槽，所述容纳槽的外凸壁能够部分伸入所述通槽； 所述移动部的末端设置有能够吸附所述基板的吸附端，所述吸附端上设置有吸附孔，所述移动部形成有贯通的第一气道，所述第一气道与所述吸附孔连通； 所述固定部内部形成有第二气道，所述第二气道与所述第一气道连通，并通过所述第一气道与所述吸附孔连通，使所述第二气道、所述第一气道以及所述吸附孔形成用于吸附所述基板的基板吸附通道； 所述移动部能够相对所述固定部移动以改变所述移动部的伸出长度，以便所述容纳槽的所述外凸壁部分伸入所述通槽后，使所述移动部与所述夹具对应匹配后向所述夹具中放置所述基板或者从所述夹具中取出所述基板； 其中，在所述移动部相对所述固定部移动前后，所述移动部与所述固定部形成的所述基板吸附通道处于密封状态。

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