长春智冉光电科技有限公司初宏亮获国家专利权
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龙图腾网获悉长春智冉光电科技有限公司申请的专利一种紫外宽波段大视场检测物镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120802482B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511316227.1，技术领域涉及：G02B21/02；该发明授权一种紫外宽波段大视场检测物镜是由初宏亮;王富国设计研发完成，并于2025-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种紫外宽波段大视场检测物镜在说明书摘要公布了：一种紫外宽波段大视场检测物镜，属于光学仪器技术领域。为了解决现有技术中难以在短波长、大数值孔径、大视场及宽波段检测之间取得平衡，同时兼顾系统复杂度与制造成本的问题，本发明提出了一种紫外宽波段大视场检测物镜，包括从物面起依次同轴设置的第一镜组、第二镜组、第三镜组和第四镜组，每个镜组包含若干透镜，其中第一镜组和第四镜组为可变镜组，本发明具有波长更短、波段更宽、数值孔径更大以及视场更大的技术特点，能够同时满足对分辨率、检测范围和检测效率的高要求，适用于半导体晶圆制造领域中的缺陷检测与质量控制。
本发明授权一种紫外宽波段大视场检测物镜在权利要求书中公布了：1.一种紫外宽波段大视场检测物镜，其特征在于，所述检测物镜包括从物面起依次同轴设置的第一镜组G1、第二镜组G2、第三镜组G3和第四镜组G4； 所述第二镜组G2包括第一双凸透镜4、双凹透镜5和第一平凸透镜6； 所述第三镜组G3包括第二弯月透镜7和第二双凸透镜8； 所述第一镜组G1包括从物面起依次同轴设置的第一透镜1、第一弯月透镜2和球碗反射镜3； 所述第四镜组G4包括从第三镜组G3起依次同轴设置的第三弯月透镜10、第三双凸透镜11、第四弯月透镜12、第五弯月透镜13、第四双凸透镜14； 所述球碗反射镜3中心开孔。
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