奈米科学仪器装备(杭州)有限公司刘志平获国家专利权
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龙图腾网获悉奈米科学仪器装备(杭州)有限公司申请的专利一种红外双面套刻的独立自动被测物焦距与透射光焦距调节结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120802575B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511317367.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种红外双面套刻的独立自动被测物焦距与透射光焦距调节结构是由刘志平;刘马超;李星星设计研发完成，并于2025-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种红外双面套刻的独立自动被测物焦距与透射光焦距调节结构在说明书摘要公布了：本发明提出了一种红外双面套刻的独立自动被测物焦距与透射光焦距调节结构，包括：载物台，其用于承载晶圆，其为一中空结构，其与载物台对焦单元的输出端连接；所述载物台对焦单元，其可沿基座且沿Z向移动；成像光路单元，其设置于载物台的上方；及透射光源，设置于载物台的中空区域的下方，其与透射光对焦单元的输出端连接；所述透射光对焦单元，其可沿底板且沿Z向移动，所述底板与基座连接。本发明可实现被测物距和透射光焦距的独立调节。
本发明授权一种红外双面套刻的独立自动被测物焦距与透射光焦距调节结构在权利要求书中公布了：1.一种红外双面套刻的独立自动被测物焦距与透射光焦距调节结构，其特征在于，包括： 载物台1，其用于承载晶圆，其为一中空结构，其与载物台对焦单元5的输出端连接； 所述载物台对焦单元5，其可沿基座4且沿Z向移动； 成像光路单元2，其设置于载物台1的上方； 及透射光源3，设置于载物台1的中空区域的下方，其与透射光对焦单元6的输出端连接； 所述透射光对焦单元6，其可沿底板7且沿Z向移动，所述底板7与基座4连接； 所述基座4包括： 板一40、与板一40连接的板二41；所述板二41自板一40沿Z向向上延伸； 所述底板7包括：一号板70、与一号板70连接的二号板71；所述二号板71自一号板70沿Z向向上延伸； 所述载物台对焦单元5，其与板二41的前表面之间形成一号Z向滑动副； 所述透射光对焦单元6，其位于载物台对焦单元5围成的区域内，其与二号板71之间形成二号Z向滑动副。
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