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浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司曹建伟获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利测温结构及立式炉管获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120820244B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511339634.4,技术领域涉及:G01K1/14;该发明授权测温结构及立式炉管是由曹建伟;龚碧瑶;傅林坚;朱亮;刘毅;谢文;徐晓望设计研发完成,并于2025-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

测温结构及立式炉管在说明书摘要公布了:本申请公开了一种测温结构及立式炉管,该立式炉管包括底座、晶舟、炉体、升降机构、多个测温件、多个加热件以及上述的测温结构;晶舟的底部连接于底座;炉体适于容纳晶舟,并与晶舟可拆卸连接;在晶舟与炉体拆卸时,升降机构能够驱动底座升降以带动晶舟升降;多个加热件加热炉体的内部空间;测温结构能够连接于底座,使得测温结构能够被升降机构驱动以进行升降,测温结构包括具有预设长度的校温件,校温件至少部分位于炉体内,在测温结构的升降过程中,校温件能够测量任意两个测温件之间区域的温度,校温件还能够测量位于最下方的测温件与晶舟底部之间区域的温度。通过上述设置,提高测温结构的检测精度,并降低测温结构的安装难度。

本发明授权测温结构及立式炉管在权利要求书中公布了:1.一种测温结构200,适用于立式炉管100的测温, 其特征在于, 所述测温结构200能够连接于立式炉管100的底座11,使得所述测温结构200能够被立式炉管100的升降机构14驱动以进行升降,所述测温结构200包括具有预设长度的校温件21,所述校温件21至少部分位于立式炉管100的炉体13内,在所述测温结构200的升降过程中,所述校温件21能够测量立式炉管100的任意两个测温件15之间区域的温度,所述校温件21还能够测量位于最下方的测温件15与立式炉管100的晶舟12底部之间区域的温度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司,其通讯地址为:311100 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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