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龙图腾网获悉沈阳和研科技股份有限公司申请的专利一种真空断电保护系统及晶圆研磨设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120828361B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511332339.6，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权一种真空断电保护系统及晶圆研磨设备是由赵一平;余胡平;陈野;吴德宝;齐飘;徐鹏;李建宁设计研发完成，并于2025-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空断电保护系统及晶圆研磨设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种真空断电保护系统及晶圆研磨设备。该真空断电保护系统包括第一真空通道和第二真空通道，第一真空通道包括通过管道依次连接的真空泵、第一电磁阀和气控阀组，气控阀组通过管道与晶圆研磨设备上的吸盘组件连接；第一电磁阀在通电时为通路状态，第一电磁阀在断电时为断路状态；第二真空通道包括通过管道依次连接的气源组件、第一控制阀组和真空发生器；用于连接气源组件和第一控制阀组的管道与气控阀组连接；第一控制阀组在通电时为断路状态，第一控制阀组在断电时为通路状态。本发明提供的保护系统，在断电时，可将第一真空通道切换为第二真空通道，保证晶圆在通电和断电的情况下均被吸盘组件稳定的吸附。

本发明授权一种真空断电保护系统及晶圆研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种真空断电保护系统，应用于晶圆研磨设备，其特征在于，包括： 第一真空通道，包括通过管道依次连接的真空泵、第一电磁阀和气控阀组，所述气控阀组通过管道与所述晶圆研磨设备上的吸盘组件连接；所述第一电磁阀在通电时为通路状态，所述第一电磁阀在断电时为断路状态； 第二真空通道，包括通过管道依次连接的气源组件、第一控制阀组和真空发生器；用于连接所述气源组件和所述第一控制阀组的管道与所述气控阀组连接；所述第一控制阀组在通电时为断路状态，所述第一控制阀组在断电时为通路状态； 其中，所述真空发生器通过设有第二电磁阀的管道与用于连接所述第一电磁阀和所述气控阀组的管道连接；所述第二电磁阀在通电时为断路状态，所述第二电磁阀在断电时为通路状态； 所述第一控制阀组包括： 第一气控阀，设在所述气源组件和所述真空发生器之间的管道上； 第三电磁阀，通过管道与用于连接所述第一气控阀和所述气源组件的管道连接，所述第三电磁阀还通过管道与所述第一气控阀连接；所述第三电磁阀在通电时为断路状态，所述第三电磁阀在断电时为通路状态； 用于连接所述第一电磁阀和气控阀组的管道上设有第一压力检测组件； 所述真空断电保护系统还包括与所述第二电磁阀连接的通电控制模块；在所述晶圆研磨设备从断电恢复至通电时，所述通电控制模块用于在所述第一压力检测组件检测到的压力值小于第一预设阈值时，控制所述第二电磁阀保持断电状态；所述通电控制模块还用于在所述第一压力检测组件检测到的压力值大于第一预设阈值时，控制所述第二电磁阀从断电状态切换至通电状态； 所述吸盘组件包括第一吸盘和第二吸盘，所述气控阀组包括第二控制阀组、以及相互并联的第二气控阀和第三气控阀，所述第一吸盘与所述第二气控阀通过管道连接，所述第二吸盘与所述第三气控阀通过管道连接； 所述第二控制阀组通过管道与用于连接所述气源组件和所述第一控制阀组之间的管道连接；所述第二控制阀组还与所述第二气控阀和所述第三气控阀均连接，所述第二控制阀组用于控制所述第二气控阀和用于连接所述气源组件和所述第一控制阀组的管道之间的通断、和或控制所述第三气控阀和用于连接所述气源组件和所述第一控制阀组的管道之间的通断； 所述第二控制阀组包括相互并联的第五电磁阀和第六电磁阀，所述第五电磁阀通过管道与用于连接所述气源组件和所述第一控制阀组的管道连接，所述第五电磁阀通过管道还与所述第二气控阀连接；所述第六电磁阀通过管道与用于连接所述气源组件和所述第一控制阀组的管道连接，所述第六电磁阀通过管道还与所述第三气控阀连接；所述第五电磁阀和第六电磁阀均用于根据控制信号对与其各自对应的管道进行通断控制。

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