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长春智冉光电科技有限公司初宏亮获国家专利权

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龙图腾网获悉长春智冉光电科技有限公司申请的专利一种深紫外无限远成像检测物镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120831770B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511332678.4,技术领域涉及:G02B13/00;该发明授权一种深紫外无限远成像检测物镜是由初宏亮;王富国设计研发完成,并于2025-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种深紫外无限远成像检测物镜在说明书摘要公布了:本发明提出一种深紫外无限远成像检测物镜,属于光学技术领域,解决了半导体器件中微小缺陷难以发现的问题,该物镜包括沿光轴方向从物面起依次设置的第一透镜组、光阑、第二透镜组和第三透镜组,第一透镜组具有正光焦度,包括第一弯月透镜、第二弯月透镜、第三弯月透镜、第四弯月透镜、第五弯月透镜和第六弯月透镜;第二透镜组具有正光焦度,包括第七弯月透镜、第八弯月透镜、第九弯月透镜、第一双凸透镜和第二双凸透镜;第三透镜组具有负光焦度,包括第一双凹透镜、第十弯月透镜、第二双凹透镜和第十一弯月透镜,最后从第三透镜组出射的光为平行光。能实现不同倍率的改变,适用波长很短的深紫外波段,数值孔径更大,具有更高的分辨率。

本发明授权一种深紫外无限远成像检测物镜在权利要求书中公布了:1.一种深紫外无限远成像检测物镜,其特征在于,包括:沿光轴方向从物面4起依次设置的第一透镜组1、光阑5、第二透镜组2和第三透镜组3,光依次经过第一透镜组1、光阑5、第二透镜组2和第三透镜组3,最后从第三透镜组3出射的光为平行光; 第一透镜组1具有正光焦度,第一透镜组1包括从物面4向像面方向依次设置的第一弯月透镜11、第二弯月透镜12、第三弯月透镜13、第四弯月透镜14、第五弯月透镜15和第六弯月透镜16; 第二透镜组2具有正光焦度,第二透镜组2包括从物面4向像面方向依次设置的第七弯月透镜21、第八弯月透镜22、第九弯月透镜23、第一双凸透镜24和第二双凸透镜25; 第三透镜组3具有负光焦度,第三透镜组3包括从物面4向像面方向依次设置的第一双凹透镜31、第十弯月透镜32、第二双凹透镜33和第十一弯月透镜34; 所述第一透镜组1中的第一弯月透镜11、第二弯月透镜12、第三弯月透镜13、第四弯月透镜14和第五弯月透镜15的弯月方向相同,凸起侧均朝向像面方向,第五弯月透镜15和第六弯月透镜16的弯月方向相反,第一弯月透镜11、第三弯月透镜13、第四弯月透镜14、第五弯月透镜15和第六弯月透镜16均具有正的光焦度;第二弯月透镜12具有负的光焦度; 所述第二透镜组2中的第七弯月透镜21和第九弯月透镜23的弯月方向相同,凸起侧均朝向物面4方向,第七弯月透镜21和第八弯月透镜22的弯月方向相反,第七弯月透镜21具有正的光焦度,第八弯月透镜22和第九弯月透镜23具有负的光焦度;第一双凸透镜24和第二双凸透镜25具有正的光焦度; 第一双凹透镜31和第二双凹透镜33具有负的光焦度;第十弯月透镜32和第十一弯月透镜34具有正的光焦度; 所述第二透镜组2与第三透镜组3之间的间隔能够调节,通过调节第二透镜组2与第三透镜组3之间的间隔来补偿轴向离焦。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长春智冉光电科技有限公司,其通讯地址为:130000 吉林省长春市净月开发区擎天树街999号1号办公楼1层103室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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