买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海陛通半导体能源科技股份有限公司申请的专利UV固化装置和UV固化方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120838665B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511349905.4，技术领域涉及：B05D3/06；该发明授权UV固化装置和UV固化方法是由马保群;李文涛;宋维聪设计研发完成，并于2025-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本UV固化装置和UV固化方法在说明书摘要公布了：本发明公开了UV固化装置和UV固化方法，该UV固化装置包括真空腔室，真空腔室的内部用于容纳晶圆；多个侦测传感器环绕设置在真空腔室的外围，并通过发射检测光线以检测晶圆的位置；磁悬浮驱动装置，电连接于多个侦测传感器；第一菲涅尔透镜，可驱动地连接于磁悬浮驱动装置；磁悬浮驱动装置响应于多个侦测传感器检测到晶圆位置后发送的信号，驱动第一菲涅尔透镜运动，以使第一菲涅尔透镜与晶圆保持同轴设置，进而使得UV光线经过第一菲涅尔透镜照射于晶圆的表面；本发明通过磁悬浮驱动装置驱动第一菲涅尔透镜运动，使第一菲涅尔透镜与晶圆保持同轴，确保UV光线能精准照射在晶圆表面，提高了UV光的照射利用率。

本发明授权UV固化装置和UV固化方法在权利要求书中公布了：1.一种UV固化装置，其特征在于，包括： 真空腔室，所述真空腔室的内部用于容纳晶圆； 多个侦测传感器，多个所述侦测传感器环绕设置在所述真空腔室的外围，并通过发射检测光线以检测所述晶圆的位置； 磁悬浮驱动装置，电连接于多个所述侦测传感器； 第一菲涅尔透镜，可驱动地连接于所述磁悬浮驱动装置，并悬浮于所述真空腔室的上侧，用于将UV光线投射于所述晶圆的表面； 其中，所述磁悬浮驱动装置被配置为：响应于多个所述侦测传感器检测到所述晶圆位置后生成的偏移信号，通过调整所产生的电磁力驱动所述第一菲涅尔透镜运动，以使所述第一菲涅尔透镜与所述晶圆保持同轴设置，所述UV固化装置还包括腔体、支撑架和第二菲涅尔透镜； 所述支撑架设置于所述腔体内，所述第二菲涅尔透镜设置于所述支撑架上，所述腔体、所述支撑架和所述第二菲涅尔透镜围设形成所述真空腔室，所述第一菲涅尔透镜的径向尺寸被配置为：与所述晶圆的径向尺寸相同，且小于所述第二菲涅尔透镜的径向尺寸。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海陛通半导体能源科技股份有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区庆达路315号13幢3F；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。