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龙图腾网获悉江苏派莱特光电科技有限公司申请的专利一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120844040B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511358341.0，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置是由刘年生;杨磊;高岗;李明;马帅;朱九菊;唐欢欢;朱嘉琦;王凯设计研发完成，并于2025-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置，属于镀膜机技术领域，包括箱体，所述箱体的内底部设置有旋转电机，所述旋转电机的上方设置有快换机构，快换机构包括转轴、承载主轴和连接轴，所述承载主轴的下端通过环形套块和插接块一插接在转轴上，所述承载主轴的上端通过凸轴和插接块二插接在连接轴上，所述转轴的内部设置有补偿机构；通过设置的快换机构，使得承载主轴和其上设置的承载盘模块只需通过提－转－提－横移或反向操作，就实现安装或拆卸的操作，无需任何工具，极大地缩短了换料和维护时间，减少了操作人员的劳动强度，特别适合于多品种、小批量的柔性生产模式，显著提高了设备的利用率和生产效率。

本发明授权一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置在权利要求书中公布了：1.一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置，包括箱体1，所述箱体1的内底部设置有旋转电机2，其特征在于，所述旋转电机2的上方设置有快换机构，快换机构包括转轴3、承载主轴4和连接轴5，所述承载主轴4的下端设置有环形套块9，所述环形套块9通过插接块一10插接在转轴3上，所述承载主轴4的上端设置有凸轴13，凸轴13通过插接块二14插接在连接轴5上； 所述连接轴5的内部设置有补偿机构，补偿机构包括密闭腔室6、柔性金属隔膜7和推杆8，所述密闭腔室6开设在连接轴5的内部； 所述承载主轴4上设置有调节机构，调节机构包括内承载盘17、斜齿环19、螺纹杆一21和外承载盘24，且内承载盘17和外承载盘24均设置有两组，所述内承载盘17设置在承载主轴4的圆周表面，所述斜齿环19通过环形转动板18转动安装在上端所述内承载盘17的上方，所述斜齿环19的下表面啮合连接有斜齿轮20，上端所述内承载盘17的内部转动安装有螺纹杆一21，上端所述外承载盘24螺接在螺纹杆一21的圆周表面，下端所述内承载盘17的圆周表面设置有支撑插杆30，下端所述外承载盘24套接在支撑插杆30的圆周表面； 所述转轴3上端的圆周表面从上往下依次开设有竖槽一301、弧形横槽一302和插槽一303，且竖槽一301、弧形横槽一302和插槽一303两两相互连通，所述插接块一10插接在插槽一303的内底部，所述推杆8的上端位于插槽一303的下端内部，所述连接轴5的下端正面开设有前端通槽501，所述前端通槽501的内部从上往下依次开设有竖槽二502、弧形横槽二503和插槽二504，且竖槽二502、弧形横槽二503和插槽二504两两相互连通，所述插接块二14插接在插槽二504的下端内部； 所述转轴3内部通过压紧弹簧一11活动连接有下压块一12，且下压块一12的下端与插接块一10的上表面抵接，所述连接轴5的内部通过压紧弹簧二15活动连接有下压块二16，且下压块二16的下端与插接块二14的上表面抵接，所述下压块一12和下压块二16分别朝向竖槽一301和竖槽二502的一端为弧形设计； 上端所述内承载盘17的上表面转动安装有螺纹杆二22，所述螺纹杆二22的圆周表面螺纹连接有升降块23，所述升降块23一侧的上下两端内部均通过滚珠与环形转动板18的上下两侧的表面抵接，所述环形转动板18和斜齿环19的上表面均位于承载主轴4上表面的下方，所述升降块23的另一侧套接有定位杆，且定位杆固定安装在上端所述内承载盘17的上表面； 所述密闭腔室6内部填充有热膨胀系数远高于金属的液体工质，所述柔性金属隔膜7设置在密闭腔室6的内底部，所述推杆8设置在柔性金属隔膜7上，每组所述外承载盘24均圆周阵列设置有四个，斜齿轮20设置在螺纹杆一21的圆周表面。

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