长春长光精瓷复合材料有限公司曹琪获国家专利权
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龙图腾网获悉长春长光精瓷复合材料有限公司申请的专利一种高精度碳化硅真空吸盘制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120864889B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511378284.2，技术领域涉及：C04B35/565；该发明授权一种高精度碳化硅真空吸盘制造方法是由曹琪;周立勋;董斌超设计研发完成，并于2025-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高精度碳化硅真空吸盘制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及碳化硅陶瓷技术领域，且公开了一种高精度碳化硅真空吸盘制造方法，包括以下步骤：将复合碳化硅微粉、烧结助剂、分散剂、交联剂、丙烯酰胺、甲基丙烯酸羟乙酯和去离子水混合均匀，经球磨，得到凝胶浆料；将凝胶浆料和引发剂、催化剂混合，注入深孔模具中，进行凝胶反应后，经压制成型、修整后，取出，置于烧结炉中，进行烧结，冷却至室温，得到吸盘预制体；吸盘预制体经铣磨、抛光、清洗，得到碳化硅真空吸盘；通过凝胶注模、烧结、铣磨、抛光、清洗工艺，形成致密、均匀的碳化硅陶瓷吸盘，且具有较高的机械强度、导热性能和比刚度。
本发明授权一种高精度碳化硅真空吸盘制造方法在权利要求书中公布了：1.一种高精度碳化硅真空吸盘制造方法，其特征在于，包括以下步骤： S1.将复合碳化硅微粉、烧结助剂、分散剂、交联剂、丙烯酰胺、甲基丙烯酸羟乙酯和去离子水混合均匀，经球磨，得到凝胶浆料； S2.将凝胶浆料和引发剂、催化剂混合，注入深孔模具中，在相对湿度为45-50%，温度为40-50℃下进行凝胶反应40-50min，经压制成型、修整后，取出，置于烧结炉中，进行烧结，冷却至室温，得到吸盘预制体； S3.吸盘预制体经铣磨、抛光、清洗，得到碳化硅真空吸盘； 所述复合碳化硅微粉由碳化硅微粉、葡萄糖和九水合硝酸铝反应后，与羧甲基纤维素、羟基聚二甲基硅氧烷和碳化硼颗粒进行混合，再经硅烷表面处理而得。
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