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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利一种光学眼镜内部倾斜闪耀光栅结构及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120871319B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511403836.0，技术领域涉及：G02B5/18；该发明授权一种光学眼镜内部倾斜闪耀光栅结构及其制造方法是由王士京;何德钦;朱佳乐;吴倩;沈康;桂智谦;刘龙设计研发完成，并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学眼镜内部倾斜闪耀光栅结构及其制造方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种光学眼镜内部倾斜闪耀光栅结构及其制造方法，包括在碳化硅材料的衬底上形成表面改性的光刻胶图形，通过光刻胶图形对衬底的露出表面进行第一刻蚀，形成具有垂直侧壁的第一沟槽并填充保护层及平坦化，在平坦后的衬底上形成三角形多晶硅图形并在其侧面上形成氧化层和侧墙层，以带有侧墙层的多晶硅图形为掩膜对衬底的露出表面进行第二刻蚀，直至多晶硅图形被完全刻蚀消耗，在第一沟槽的顶部形成相连且一侧具有倾斜侧壁的第二沟槽。本申请能降低工艺难度，利于实现垂直侧壁和倾斜侧壁结构的图形化，并改善侧壁粗糙度，适用于增强光学性能，提高衍射效率及长期稳定性。

本发明授权一种光学眼镜内部倾斜闪耀光栅结构及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种光学眼镜内部倾斜闪耀光栅结构制造方法，其特征在于，包括： 提供碳化硅材料的衬底； 在所述衬底的表面上形成多个光刻胶图形； 对所述光刻胶图形进行表面改性处理； 通过所述光刻胶图形，对所述衬底的露出表面进行第一刻蚀，形成多个具有垂直侧壁的第一沟槽； 在所述第一沟槽中填充保护层，并平坦化； 在所述衬底和所述保护层的表面上依次形成多晶硅层和多个三角形的压印胶图形； 去除所述压印胶图形表面存在的毛刺； 通过所述压印胶图形，对所述多晶硅层进行刻蚀图形化，对应形成多个三角形的多晶硅图形，所述多晶硅图形的第一侧边在所述衬底表面上的正投影位于与其同侧的一个所述第一沟槽以内，对该侧的所述衬底的表面进行遮挡，所述多晶硅图形的第二侧边在所述衬底表面上的正投影位于与其同侧的另一个所述第一沟槽以外，露出该侧的所述衬底的表面； 在所述多晶硅图形的侧面上依次形成氧化层和侧墙层； 以带有所述侧墙层的所述多晶硅图形为掩膜，对所述衬底的露出表面进行第二刻蚀，直至所述多晶硅图形被完全刻蚀消耗，在所述第一沟槽的顶部形成相连且一侧具有倾斜侧壁的第二沟槽。

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