歌尔光学科技有限公司高旭获国家专利权
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龙图腾网获悉歌尔光学科技有限公司申请的专利纳米压印方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120871531B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511403984.2，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权纳米压印方法及系统是由高旭;程相英设计研发完成，并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本纳米压印方法及系统在说明书摘要公布了：本申请公开一种纳米压印方法及系统，涉及纳米压印技术领域，纳米压印方法包括：在吸盘上覆盖纳米薄膜，识别附着在纳米薄膜上的颗粒的位置，并通过光照使得颗粒周边的纳米薄膜变色形成环形标记，根据环形标记获取颗粒的基本信息；根据基本信息去除颗粒；在晶圆的表面涂覆胶水，在真空环境中去除晶圆表面和胶水内的气泡；将晶圆放置在吸盘上，通过吸盘上的加热装置对晶圆和晶圆上的胶水进行加热；将带有图案的软膜覆盖在胶水表面，从软膜背离胶水的一侧挤压软膜；在紫外光线下对胶水进行固化形成胶水层，取走软膜，软膜上的图案转印到胶水层上。该发明能够有效减少杂质颗粒，减少光栅底部畸变的风险，提升产品良率。
本发明授权纳米压印方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种纳米压印方法，其特征在于，所述纳米压印方法包括以下步骤： 在吸盘上覆盖纳米薄膜，识别附着在所述纳米薄膜上的颗粒的位置，并通过光照使得所述颗粒周边的纳米薄膜变色形成环形标记，根据所述环形标记获取所述颗粒的基本信息； 根据所述基本信息去除所述颗粒； 在晶圆的表面涂覆胶水，在真空环境中去除晶圆表面和胶水内的气泡； 将晶圆放置在所述吸盘上，通过吸盘上的加热装置对晶圆和晶圆上的胶水进行加热； 将带有图案的软膜覆盖在胶水表面，从所述软膜背离所述胶水的一侧挤压所述软膜； 在紫外光线下对所述胶水进行固化形成胶水层，取走所述软膜，所述软膜上的图案转印到所述胶水层上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人歌尔光学科技有限公司，其通讯地址为：261031 山东省潍坊市高新区清池街道永春社区惠贤路3999号歌尔光电产业园三期1号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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