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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利工艺参数优化方法、系统、原位在线检测装置、计算机设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120874622B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511374058.7，技术领域涉及：G06F30/27；该发明授权工艺参数优化方法、系统、原位在线检测装置、计算机设备及存储介质是由张黎明;刘新阳;宣光濮;邢陈陈;汪晓刚设计研发完成，并于2025-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本工艺参数优化方法、系统、原位在线检测装置、计算机设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种工艺参数优化方法、系统、原位在线检测装置、计算机设备及存储介质，本申请获取工艺参数和预设窗口内的测量数据；基于测量数据，提取表征晶圆表面生长物理状态的特征参数；将特征参数和工艺参数输入预训练的预测模型中，得到表征生长状态趋势和光电特性变化趋势预测结果；基于预测结果优化工艺参数，优化后的工艺参数用于晶圆在下一预设窗口的外延生长工艺过程。采用上述方案，本申请从原始的测量数据中提取表征生长物理状态的特征参数，基于该特征参数，本申请无需依赖于先验模型和参数，自动解析多参数之间的高维度关系、找到全局最优的工艺窗口，生成的预测结果与实际生长机理一致，有效提高了工艺过程准确性及产品良率。

本发明授权工艺参数优化方法、系统、原位在线检测装置、计算机设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种工艺参数优化方法，其特征在于，所述方法包括: 获取机台的工艺参数以及工艺腔室在预设窗口内的测量数据；其中，所述测量数据是通过观察窗检测工艺腔室内外延生长工艺的晶圆表面得到的； 基于所述测量数据，提取表征晶圆表面生长物理状态的特征参数； 将所述特征参数和所述工艺参数输入预训练的预测模型中，得到预测结果；所述预测结果用于表征生长状态趋势和光电特性变化趋势； 基于所述预测结果，在预卡定规格范围下对当前工艺参数的取值进行优化，优化后的工艺参数用于晶圆在下一预设窗口的外延生长工艺过程； 所述预测模型包括时序预测模型和光电特性预测模型；所述特征参数包括瞬时生长速率、工艺参数统计特征、晶圆曲率最终值、混合特征参数和停止带特征数据；所述混合特征参数为传输矩阵模型输出的模拟谱最贴合反射谱时的等效光线常数和等效厚度；所述测量数据包括晶圆温度数据； 所述将所述特征参数和所述工艺参数输入预训练的预测模型中，得到预测结果，包括： 将所述瞬时生长速率、所述晶圆温度数据和所述工艺参数输入所述时序预测模型的编码器中，得到表征历史序列的上下文向量；将所述上下文向量输入所述时序预测模型的解码器中，得到生长速率预测值；对所述生长速率预测值进行积分处理，得到厚度预测值；将所述厚度预测值、所述工艺参数统计特征、所述晶圆曲率最终值、所述混合特征参数、以及所述停止带特征数据输入所述光电特性预测模型中，得到光电特性参数的预测值；其中，所述光电特性参数包括发光器件的发射波长和或功率半导体器件的方阻。

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