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涌淳半导体(无锡)有限公司;凌璃科技(无锡)有限公司曹晓光获国家专利权

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龙图腾网获悉涌淳半导体(无锡)有限公司;凌璃科技(无锡)有限公司申请的专利一种多点测量式光学薄膜测厚装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120890358B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511422800.7,技术领域涉及:G01B7/06;该发明授权一种多点测量式光学薄膜测厚装置是由曹晓光;李峰;孔维翔;邵秋新;章军尧设计研发完成,并于2025-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种多点测量式光学薄膜测厚装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种多点测量式光学薄膜测厚装置,涉及光学薄膜制备技术领域。该装置的环形壳体内通过轴承转动连接有连接环,连接环上圆周分布有多个晶振片安装工位,各工位由限位组件、安装组件和锁紧组件协同固定晶振片,机体内部设置有由动力组件驱动的第一驱动组件和第二驱动组件;动力组件可间歇性地分别驱动第一驱动组件带动连接环旋转以切换晶振片,以及驱动第二驱动组件带动顶设组件前后移动,顶设组件可将待工作的晶振片精准顶推至检测孔处并实现电连接。本发明实现了在真空环境下晶振片的全自动、不间断循环更换与测量,彻底避免了因破真空更换晶振片导致的工艺中断、效率低下和腔室污染问题,显著提高了镀膜生产的效率与产品质量。

本发明授权一种多点测量式光学薄膜测厚装置在权利要求书中公布了:1.一种多点测量式光学薄膜测厚装置,包括机体1,其特征在于:所述机体1前侧固定连接有环形壳体2,所述机体1后侧中间位置固定连接有安装壳体3,所述机体1和环形壳体2前侧设置有密封盖板5,所述密封盖板5右侧开设有检测孔6,所述环形壳体2内部后侧转动连接有连接环12,所述连接环12前侧外圈处固定连接有齿环14,所述连接环12内圈与环形壳体2之间设置有轴承13,所述连接环12上圆周分布有若干开孔55,所述连接环12前侧位于开孔55两侧的位置均设置有限位组件15,对应所述限位组件15之间均设置有安装组件16,所述安装组件16前侧均设置有锁紧组件17,所述锁紧组件17与安装组件16之间设置有晶振片63; 顶设组件49,所述顶设组件49设置在机体1内部右侧位于检测孔6后侧的位置,用于带动晶振片63移动,并对其进行通电,所述顶设组件49包括连接板52和插杆53,所述连接板52中间位置开设有通孔,所述通孔与往复丝杆45套设连接,所述插杆53前端均固定连接有电极杆54; 第一驱动组件,所述第一驱动组件设置在机体1内部左右两侧,第一驱动组件包括第一动力齿轮50、第一输送齿轮28和第二输送齿轮38;所述第一动力齿轮50与第一输送齿轮28以及和第二输送齿轮38传动连接,所述第一输送齿轮28和第二输送齿轮38均与齿环14啮合连接; 第二驱动组件,所述第二驱动组件设置机体1内部右侧,用于驱动顶设组件49进行移动,第二驱动组件包括第二动力齿轮51和往复丝杆45,往复丝杆45和第二动力齿轮51传动连接; 动力组件,所述动力组件设置在安装壳体3内部,用于间歇驱动第一驱动组件和第二驱动组件,所述动力组件包括固定连接在安装壳体3内部的驱动电机18,所述驱动电机18输出端固定连接有第一不完全端面齿轮19,所述第一不完全端面齿轮19前端中间位置固定连接有连接轴65,所述连接轴65前端固定连接有第二不完全端面齿轮20,所述第一不完全端面齿轮19的端齿占据六分之一,所述第二不完全端面齿轮20的端齿占据三分之二,且其端齿平均分为两部分对称设置在两侧,所述第一不完全端面齿轮19与第一动力齿轮50间歇啮合,所述第二不完全端面齿轮20与第二动力齿轮51间歇啮合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人涌淳半导体(无锡)有限公司;凌璃科技(无锡)有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区城南路228号306室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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