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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利一种光学眼镜内部倾斜光栅及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120891575B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511403626.1，技术领域涉及：G02B5/18；该发明授权一种光学眼镜内部倾斜光栅及其制造方法是由王士京;王兆祥;梁洁;王晓雯;涂乐义;李俭;张名瑜设计研发完成，并于2025-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学眼镜内部倾斜光栅及其制造方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种光学眼镜内部倾斜光栅及其制造方法，包括在碳化硅衬底上形成同向倾斜的多个压印胶图形，对压印胶图形的表面进行第一处理，以降低表面粗糙度，在相邻压印胶图形之间的间隙中形成同向倾斜的金属图形，然后去除压印胶图形，以金属图形为掩膜，并沿其倾斜方向，对碳化硅衬底的露出表面进行刻蚀，在碳化硅衬底上形成同向倾斜的第一光栅，然后去除剩余的金属图形，对第一光栅的表面进行第二处理，以降低表面粗糙度，对第一光栅的表面进行第三处理，以去除表面的富集层，去除第一光栅的顶部，形成第二光栅。本申请能够实现整体倾斜的光栅结构，降低侧壁的粗糙度，从而增强了光学性能，提高了衍射效率及长期稳定性。

本发明授权一种光学眼镜内部倾斜光栅及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种光学眼镜内部倾斜光栅制造方法，其特征在于，依次包括： 提供碳化硅衬底； 在所述碳化硅衬底的表面上形成同向倾斜的多个压印胶图形； 对所述压印胶图形的表面进行第一处理，以降低表面粗糙度； 对任意两个相邻的所述压印胶图形之间的间隙进行金属填充，并去除所述压印胶图形表面上多余的金属材料，在所述间隙中形成同向倾斜的金属图形，然后去除所述压印胶图形； 以所述金属图形为掩膜，并沿其倾斜方向，对所述碳化硅衬底的露出表面进行刻蚀，在所述碳化硅衬底上形成同向倾斜的第一光栅，然后去除剩余的所述金属图形； 采用高温退火工艺，对所述第一光栅的表面进行第二处理，使所述第一光栅的侧壁表面熔融，以驱动表面原子层的融动，使侧壁表面变得光滑，以降低表面粗糙度； 对所述第一光栅的表面进行第三处理，以去除表面的富集层； 在所述碳化硅衬底的表面上覆盖牺牲层，并使所述第一光栅的顶部露出； 去除所述第一光栅的露出顶部，形成第二光栅； 去除所述牺牲层。

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