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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种可调焦式单色激光干涉终点检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120907426B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511429912.5，技术领域涉及：G01B9/02015；该发明授权一种可调焦式单色激光干涉终点检测装置是由张南南;张黎明;钟辉;郭军涛;唐凯;黄兴玉设计研发完成，并于2025-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可调焦式单色激光干涉终点检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种可调焦式单色激光干涉终点检测装置，包括机体，可移动的设于工艺腔室的上方；连接件，设于机体的底部，且连接件具有连接通道；定位件，设于连接件并置于连接通道内；调焦镜组，包括替换壳体和透镜组；替换壳体可拆卸的设于定位件，并包括固定段和调节段，调节段可移动的设于固定段；透镜组包括依次设置的第一固定透镜组、调焦组和第二固定透镜组；第一固定透镜组设于固定段并位于调节段的上方；调焦组设于调节段；第二固定透镜组设于固定段并位于调节段的下方；其中，调节调节段的位置以调节调焦镜组的焦距，更换调焦镜组以更换不同焦距范围的透镜组。本发明扩展了镜头焦距调节范围以适应和提升不同刻蚀工艺终点检测精度。

本发明授权一种可调焦式单色激光干涉终点检测装置在权利要求书中公布了：1.一种可调焦式单色激光干涉终点检测装置，应用于半导体刻蚀工艺终点检测，其特征在于，包括： 机体100，可移动的设于工艺腔室的上方； 连接件200，设于所述机体100的底部，且所述连接件200具有连接通道201； 定位件300，设于所述连接件200并置于所述连接通道201内； 调焦镜组400，包括替换壳体410和透镜组420；所述替换壳体410可拆卸的设于所述定位件300，并包括固定段411和调节段412，所述调节段412可移动的设于所述固定段411；所述透镜组420包括依次设置的第一固定透镜组421、调焦组422和第二固定透镜组423；所述第一固定透镜组421设于所述固定段411并位于所述调节段412的上方；所述调焦组422设于所述调节段412；所述第二固定透镜组423设于所述固定段411并位于所述调节段412的下方； 其中，调节所述调节段412的位置以调节所述调焦镜组400的焦距，更换所述调焦镜组400以更换不同焦距范围的所述透镜组420； 所述调焦镜组400还包括相对设置的密封端盖450和联动轴460；相对设置的所述密封端盖450分别设于所述替换壳体410的两端以将所述替换壳体410的两端封闭；所述联动轴460沿竖直方向贯穿所述替换壳体410的侧壁并将相对设置的所述密封端盖450连接，以在其中一个所述密封端盖450转动时，另一个所述密封端盖450同步转动； 所述连接件200包括固定件210和转动件220；所述定位件300设于所述转动件220，且所述转动件220可转动的设于所述固定件210的顶部；所述机体100内设有随动件500和控制件600；所述随动件500与所述转动件220啮合以在所述转动件220转动时发生同步转动；所述控制件600的一端设于所述随动件500，另一端用于与所述替换壳体410的顶部的所述密封端盖450接触，以在所述随动件500转动时打开所述密封端盖450。

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