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龙图腾网获悉南京信息工程大学申请的专利一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120927998B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511479576.5，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计是由徐言;郭鑫;李昂;谢志远设计研发完成，并于2025-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，包括上、下双层结构，其中上层为以硅为材料构建的微机械敏感元件，下层为由二氧化硅材料加工的玻璃基座，所述玻璃基座用于提供机械支撑和电学隔离功能。其中微机械敏感元件承担信号转换功能；下层玻璃底座经湿法刻蚀与金属溅射工艺成型，用于信号输出。本发明基于正交分布的谐振单元阵列与力学放大机构协同设计，结合静电驱动与振幅比检测，使用单一敏感元件实现Y轴与X轴、Z轴加速度的同步精确感知，突破传统单轴检测模式的技术限制，减少后端信号处理电路的复杂度，提升器件空间利用率。

本发明授权一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计在权利要求书中公布了：1.一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，其特征在于，包括上、下双层结构，其中上层为以硅为材料构建的微机械敏感元件，下层为由二氧化硅材料加工的玻璃基座，所述玻璃基座用于提供机械支撑和电学隔离功能； 所述微机械敏感元件包括第一受力承载基体1、第二受力承载基体2、占位基体3、第一谐振器4-1、第二谐振器4-2、第三谐振器4-3、第四谐振器4-4、Y轴力放大杠杆5-1、X轴力放大杠杆5-2、第一Z轴抑制结构6-1、第二Z轴抑制结构6-2、第三Z轴抑制结构6-3、第四Z轴抑制结构6-4、第一限制运动结构7-1、第二限制运动结构7-2、第三限制运动结构7-3、第四限制运动结构7-4、第一耦合直角连接结构8-1、第二耦合直角连接结构8-2、第三耦合直角连接结构8-3和第四耦合直角连接结构8-4； 其中所述第一谐振器4-1安装于第一受力承载基体1的上侧，第二谐振器4-2设置于第一受力承载基体1的右侧，第一谐振器4-1和第二谐振器4-2相互之间呈90°夹角设置； 所述第三谐振器4-3位于第一受力承载基体1下方，与第一谐振器4-1形成180°分布关系； 所述第四谐振器4-4设置于第一受力承载基体1上部，与第二谐振器4-2形成180°夹角设置； 所述第一谐振器4-1、第二谐振器4-2、第三谐振器4-3、第四谐振器4-4的一端通过公共锚点实现刚性连接，第一谐振器4-1另一端与Y轴力放大杠杆5-1连接，第二谐振器4-2另一端与X轴力放大杠杆5-2连接，第三谐振器4-3另一端与第三谐振器锚点4-3-8连接，第四谐振器4-4另一端与第四谐振器锚点4-4-14连接； 所述Y轴力放大杠杆5-1位于第一受力承载基体1上侧，所述X轴力放大杠杆5-2位于第一受力承载基体1右侧； 所述第一Z轴抑制结构6-1、第二Z轴抑制结构6-2、第三Z轴抑制结构6-3、第四Z轴抑制结构6-4分别对称设置在第一受力承载基体1的左上、右上、右下、左下侧； 所述第一限制运动结构7-1、第二限制运动结构7-2、第三限制运动结构7-3、第四限制运动结构7-4分别位于第二受力承载基体2的左上、右上、右下、左下侧； 所述Y轴力放大杠杆5-1上设有第一Y轴力输出直梁5-1-2和第一Y轴力输入直梁5-1-4； 所述X轴力放大杠杆5-2上设有第一X轴力输出直梁5-2-2和第一X轴力输入直梁5-2-4； 所述第一谐振器4-1与第一Y轴力输出直梁5-1-2相连接，所述第二谐振器4-2与第一X轴力输出直梁5-2-2相连接； 所述第一Y轴力输入直梁5-1-4和第一X轴力输入直梁5-2-4分别与第一受力承载基体1左上侧和右下侧区域实现连接； 所述第一谐振器4-1包括第一单端固定谐振梁4-1-1；所述第二谐振器4-2包括第二单端固定谐振梁4-2-1；所述第三谐振器4-3包括第三双端固定谐振梁4-3-1； 所述第一耦合直角连接结构8-1一端与第一单端固定谐振梁4-1-1相连，另一端与第四双端固定谐振梁4-4-1相连接； 所述第二耦合直角连接结构8-2用于连接第一单端固定谐振梁4-1-1和第二单端固定谐振梁4-2-1； 所述第三耦合直角连接结构8-3分别连接第二单端固定谐振梁4-2-1与第三双端固定谐振梁4-3-1； 所述第四耦合直角连接结构8-4分别连接第三双端固定谐振梁4-3-1与第四双端固定谐振梁4-4-1。

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