江苏微导纳米科技股份有限公司徐兴文获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种半导体加工车间的热管理系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223623455U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423134059.8，技术领域涉及：F28D21/00；该实用新型一种半导体加工车间的热管理系统是由徐兴文;韩方虎设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工车间的热管理系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种半导体加工车间的热管理系统，包括尾气排放模块、第一换热模块和流体供应模块，所述尾气排放模块包括尾排管道，所述流体供应模块包括流体供应管道，所述流体供应管道至少用于和所述半导体加工车间中的反应器相连，所述尾排管道以及所述流体供应管道均和所述第一换热模块相连，以通过所述第一换热模块进行换热。上述方案可以利用尾气热量来对反应器进行预热，能够减少尾气热量的浪费，并可以方便后续对于尾气的处理。
本实用新型一种半导体加工车间的热管理系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工车间的热管理系统，其特征在于，包括尾气排放模块、第一换热模块和流体供应模块，所述尾气排放模块包括尾排管道，所述流体供应模块包括流体供应管道，所述流体供应管道至少用于和所述半导体加工车间中的反应器相连，所述尾排管道以及所述流体供应管道均和所述第一换热模块相连，以通过所述第一换热模块进行换热。
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