合肥开悦半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥开悦半导体科技有限公司申请的专利一种环境控制等级分区的涂胶显影机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624508U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520319661.4，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种环境控制等级分区的涂胶显影机是由请求不公布姓名;苗伟;王向东;张立设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种环境控制等级分区的涂胶显影机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及涂胶显影机技术领域，公开了一种环境控制等级分区的涂胶显影机，包括晶圆盒站、多功能模块、热板单元、工艺机械臂一与工艺机械臂二、旋转单元以及接口站，所述旋转单元与热板单元之间布置有中间单元，所述热板单元、工艺机械臂二与所述接口站连接组成光刻胶区域，所述旋转单元相对于工艺机械臂一对称布置作为精密区域，所述晶圆盒站、多功能模块、旋转单元的工艺机械臂一作为一般清洁区。本实用新型，通过涂胶显影设备的架构进行重新构思，完成涂胶显影设备的环境进行分区控制，精密控制区域与光刻胶区域间互不影响；通过使旋转单元与热板单元两环境区域相互区隔，旋转单元不会对热板单元造成影响。
本实用新型一种环境控制等级分区的涂胶显影机在权利要求书中公布了：1.一种环境控制等级分区的涂胶显影机，包括晶圆盒站、多功能模块、热板单元、工艺机械臂一与工艺机械臂二、旋转单元以及接口站，其特征在于：所述旋转单元与热板单元之间布置有中间单元，所述旋转单元采用采用工艺机械臂一与中间单元进行晶圆的传递，所述热板单元采用工艺机械臂二与中间单元进行晶圆的传递，所述热板单元、工艺机械臂二与所述接口站连接组成光刻胶区域，所述旋转单元相对于工艺机械臂一对称布置作为精密区域，所述晶圆盒站、多功能模块、旋转单元的工艺机械臂一作为一般清洁区。
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