上海积塔半导体有限公司宋航获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利步进式光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624510U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520016488.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型步进式光刻机是由宋航;李家超设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本步进式光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种步进式光刻机。所述步进式光刻机包括：晶圆承载台，用于承载待光刻晶圆，所述晶圆承载台能够移动以带动所述待光刻晶圆移动；电源柜，用于为所述晶圆承载台供电；镭射头，用于向所述晶圆承载台发射检测光；稳压变压器，与所述镭射头电连接，用于将所述镭射头电连接至外部电源，所述稳压变压器能够将所述外部电源所提供的电源电压转变为所述镭射头所需要的工作电压，以为所述镭射头供电。本实用新型通过增设稳压变压器将步进式光刻机的镭射头电连接至独立于电源柜的厂务电源，镭射头与晶圆承载台不再共有同一个电源柜，避免了在处理晶圆承载台相关报警时、电源柜的开关动作对镭射头的影响，可以延长镭射头的使用寿命。
本实用新型步进式光刻机在权利要求书中公布了：1.一种步进式光刻机，其特征在于，包括： 晶圆承载台，用于承载待光刻晶圆，所述晶圆承载台能够移动以带动所述待光刻晶圆移动； 电源柜，用于为所述晶圆承载台供电； 镭射头，用于向所述晶圆承载台发射检测光； 稳压变压器，与所述镭射头电连接，用于将所述镭射头电连接至外部电源，所述稳压变压器能够将所述外部电源所提供的电源电压转变为所述镭射头所需要的工作电压，以为所述镭射头供电。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路600号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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