芜湖晶纯科技有限公司胡飞繁获国家专利权
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龙图腾网获悉芜湖晶纯科技有限公司申请的专利一种平面电极孔蚀刻装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223624927U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423115662.1,技术领域涉及:H01L21/28;该实用新型一种平面电极孔蚀刻装置是由胡飞繁;王成;李金璐;李想;周满意设计研发完成,并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种平面电极孔蚀刻装置在说明书摘要公布了:本实用新型所提供的平面电极孔蚀刻装置包括壳体、承托结构以及蚀刻液循环结构,承托结构设置在壳体内,承托结构用于放置平面电极,蚀刻液循环结构设置在壳体内,能够避免多余的化学药液残留在平面电极表面,能够循环利用化学药液,降低生产成本,本实用新型所提供的平面电极孔蚀刻装置方便对平面电极孔进行蚀刻,避免了化学药液过多造成边缘损伤,降低了生产成本。
本实用新型一种平面电极孔蚀刻装置在权利要求书中公布了:1.一种平面电极孔蚀刻装置,其特征在于,包括壳体10、承托结构20以及蚀刻液循环结构30,所述承托结构20设置在所述壳体10内,所述蚀刻液循环结构30设置在所述壳体10内。
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