苏州芯矽电子科技有限公司李佳森获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯矽电子科技有限公司申请的专利晶圆上下抛动清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624935U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422955719.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆上下抛动清洗装置是由李佳森;欧赵旺;陈晨;张少阳设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆上下抛动清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型揭示了一种晶圆上下抛动清洗装置，包括支撑杆，所述支撑杆的顶端设有抛动板，所述抛动板可在驱动组件的驱动下相对所述支撑杆上下移动，所述浮动板上固设有一抛动箱，所述抛动箱内可放置有花篮，所述抛动箱内还枢轴设有驱动辊，所述驱动辊的外圆周面与所述花篮内的晶圆的圆周面相切，且所述驱动辊在旋转组件的驱动下产生自转。本实用新型的有益效果主要体现在：设计精巧，通过驱动电机通过驱动轴和偏心轮驱动滑动杆上下移动，从而驱动抛动板上下移动，实现晶圆在清洗液中上下浸泡。该连接结构稳定可靠，且便于拆卸更换及维修，移动精度高，极大地提高工作效率，具有较广的适用性。
本实用新型晶圆上下抛动清洗装置在权利要求书中公布了：1.晶圆上下抛动清洗装置，包括支撑杆1，其特征在于：所述支撑杆1的顶端设有抛动板2，所述抛动板2可在驱动组件3的驱动下相对所述支撑杆1上下移动，所述抛动板2上固设有一抛动箱4，所述抛动箱4内可放置有花篮5，所述抛动箱4内还枢轴设有驱动辊6，所述驱动辊6的外圆周面与所述花篮5内的晶圆100的圆周面相切，且所述驱动辊6在旋转组件7的驱动下产生自转。
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