盛合晶微半导体(江阴)有限公司朱李鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉盛合晶微半导体(江阴)有限公司申请的专利一种晶圆清洗机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624940U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423105234.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆清洗机台是由朱李鹏;蒋橙澄;仲树根;刘志强设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆清洗机台，属于半导体设备技术领域，该晶圆清洗机台包括：清洗腔体，清洗腔体内包括清洗组件；排气管，包括排气管入口和排气管出口，排气管自清洗腔体内部延伸至晶圆清洗机台外部，排气管出口位于晶圆清洗机台外部；气液分离装置，可拆卸连接于排气管上，气液分离装置包括：外壳和挡板，外壳包括气液混合气流入口、气体出口及液体出口；挡板，设置于外壳内部，挡板与外壳之间形成允许气流通过的通道。本实用新型提供的晶圆清洗机台通过增设气液分离装置，能够有效分离气液混合气流中的气体和液体，减少排风管中的液体残留。
本实用新型一种晶圆清洗机台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗机台，其特征在于，包括： 清洗腔体，位于所述晶圆清洗机台内，且所述清洗腔体包括清洗组件； 排气管，包括排气管入口和排气管出口，所述排气管入口连通所述清洗腔体，所述排气管自所述清洗腔体内部延伸至所述晶圆清洗机台外部，所述排气管出口位于所述晶圆清洗机台外部； 气液分离装置，可拆卸连接于所述排气管上，所述气液分离装置包括外壳和挡板，所述外壳包括气液混合气流入口、气体出口及液体出口；所述挡板设置于所述外壳内部，并且与所述外壳之间形成允许气流通过的通路。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛合晶微半导体(江阴)有限公司，其通讯地址为：214437 江苏省无锡市江阴市东盛西路9号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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