无锡市瑞达电子科技有限公司黄微获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡市瑞达电子科技有限公司申请的专利晶圆料盒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223624949U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423153732.2,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型晶圆料盒是由黄微设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆料盒在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆料盒包括盒体、锁杆与驱动机构,晶圆料盒放置在机台上,驱动机构向上驱使锁杆,驱动机构处于第二位置,让位槽与承托槽相通,工作人员把晶圆固定在晶圆框架上,从进出口插装晶圆框架于承托槽内后,机械臂抓取晶圆料盒,晶圆料盒离开机台,驱动机构处于第一位置,由于锁杆的自重,锁杆向下滑动至驱动机构上,锁块封堵承托槽,从而进出口也被封堵,晶圆框架被锁块限制在承托槽内,无法从进出口处脱离承托槽,通过设置锁杆与驱动机构,使得晶圆框架装入承托槽内后,工作人员手动提起或机械臂提起时,不会因为搬运的不平稳,晶圆物料从进出口处脱离,提高了晶圆运输时的稳定性。
本实用新型晶圆料盒在权利要求书中公布了:1.晶圆料盒,其特征在于,用于上料机构,所述上料机构包括机台和设置于机台上端的凸块,所述晶圆料盒包括: 盒体1,具有至少一个开口11与内腔,所述开口11与所述内腔连通,所述盒体1的内侧壁开设有承托槽12,所述承托槽12的槽口贯穿至所述开口11形成进出口13,所述盒体1的内侧壁上设有锁槽14和活动孔15,所述锁槽14靠近所述进出口13,所述活动孔15位于所述锁槽14的底端,所述活动孔15与所述锁槽14连通; 锁杆2,所述锁杆2靠近内腔一侧设有锁块21与让位槽22,所述锁杆2在所述锁槽14中滑动; 驱动机构3,位置对应于所述凸块,所述驱动机构3的第一端可旋转地连接所述盒体1底部,所述驱动机构3的第二端伸入所述活动孔15内; 其中,盒体1放置于机台上,凸块顶撑驱动机构3移动至第一位置,所述驱动机构3驱使所述锁杆2沿所述锁槽14向上滑动,所述让位槽22与所述承托槽12连通;盒体1离开机台,凸块远离驱动机构3,所述驱动机构3与所述锁杆2在重力作用下,所述驱动机构3移动至第二位置,所述驱动机构3的第二端抵住所述活动孔15的底端,所述锁杆2底端抵住所述驱动机构3的第二端,所述锁块21封堵所述承托槽12。
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