合肥致真精密设备有限公司程厚义获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥致真精密设备有限公司申请的专利一种用于多系统的晶圆真空传输装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624955U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423098415.5，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种用于多系统的晶圆真空传输装置是由程厚义;徐文磊;杜寅昌;李玉婷设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于多系统的晶圆真空传输装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于多系统的晶圆真空传输装置，具体涉及薄膜沉积技术领域，所述晶圆真空传输装置包括：中转腔室、中转腔室样品台、传输腔室、传输腔室样品台、磁耦合传输机构、V型真空轨道、机械手滑轮组件、真空外齿轮齿条驱动系统和光电传感器。本实用新型通过设置传输腔室和中转腔室，由于机械手臂上的样品托从中转腔室样品台上取到样品晶圆；利用磁耦合传输机构快速带动机械手滑轮组件进行位置的调整，进而将样品晶圆转移至传输腔室样品台上；快速实现互联系统的机械手臂与样品托的位置调整；因此多个中转腔室便于实现多台沉积设备互联时，晶圆在工艺真空系统及中转传输真空系统中传送；快速实现多个互联系统的晶圆真空传输。
本实用新型一种用于多系统的晶圆真空传输装置在权利要求书中公布了：1.一种用于多系统的晶圆真空传输装置，其特征在于：所述晶圆真空传输装置包括：中转腔室1、中转腔室样品台2、传输腔室3、传输腔室样品台4、磁耦合传输机构5、V型真空轨道6、机械手滑轮组件7、真空外齿轮齿条驱动系统8和光电传感器； 所述中转腔室1固定安装在传输腔室3的端部，所述中转腔室样品台2和传输腔室样品台4分别设置在中转腔室1和传输腔室3上；所述真空外齿轮齿条驱动系统8固定安装在传输腔室3的顶部，所述V型真空轨道6固定安装在传输腔室3的内部，所述机械手滑轮组件7设置在V型真空轨道6上，所述机械手滑轮组件7与V型真空轨道6活动连接，所述真空外齿轮齿条驱动系统8通过磁耦合传输机构5与机械手滑轮组件7连接；所述光电传感器固定安装在传输腔室3内。
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