苏州美仪自动化设备有限公司李海新获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州美仪自动化设备有限公司申请的专利一种晶圆校准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624959U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422964287.1，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆校准装置是由李海新;薄原厂;刘超设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆校准装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆校准装置，属于晶圆校正技术领域，包括工作台，工作台的顶端围绕中心依次设置有晶圆上料仓、晶圆放料仓、单板载具仓、组合校准工位、单板校准工位、组合载具仓和晶圆校准工位，组合校准工位、单板校准工位和晶圆校准工位内均设置有校正机构，组合校准工位、单板校准工位和晶圆校准工位的顶端均固定连接有检测相机；本实用新型中，三个校正机构配合三个检测相机能够分别对晶圆和不同类型的载具进行校准，校准后的晶圆能够放置在晶圆放料仓内提供给后续工序使用，并且也能够放置在单板式载具和组合式载具内供后续工序使用，具备多种工作方式，功能多样化，能够满足多款晶圆产品的同时校准工作。
本实用新型一种晶圆校准装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆校准装置，包括工作台1，其特征在于：所述工作台1的顶端围绕中心依次设置有晶圆上料仓2、晶圆放料仓3、单板载具仓4、组合校准工位5、单板校准工位6、组合载具仓7和晶圆校准工位8，所述组合校准工位5、单板校准工位6和晶圆校准工位8内均设置有校正机构9，所述组合校准工位5、单板校准工位6和晶圆校准工位8的顶端均固定连接有检测相机10，且三个检测相机10分别与三个校正机构9相对应，所述工作台1的中部设置有机械臂11，且机械臂11位于晶圆上料仓2、晶圆放料仓3、单板载具仓4、组合校准工位5、单板校准工位6、组合载具仓7和晶圆校准工位8之间。
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