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龙图腾网获悉浙江百盛光电股份有限公司申请的专利一种晶圆产品边缘检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624960U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423168653.9，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆产品边缘检测装置是由陈跃华;彭从锋;王建国;卜志超;张鑫设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆产品边缘检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆产品边缘检测装置，包括大理石平台和大理石悬臂，所述大理石平台的下方四角处均固定连接有气浮垫，所述大理石平台的一端中部固定连接有大理石悬臂，所述大理石平台的上方中部固定连接有晶圆旋转平台，所述晶圆旋转平台的旋转输出端上方设置有晶圆主体，所述晶圆旋转平台在晶圆主体的下方四等分处均设置有定位气缸组。本实用新型设置有晶圆旋转平台和定位气缸组，可通过平台边缘设计三组顶升用的气缸，配合对应的圆锥头，用于将玻璃定位到中心后平稳降落到平台上进行测量，因对晶圆中心进行了定位，不会有很大的偏心出现，因此相机组的视野可以大幅度的缩小。

本实用新型一种晶圆产品边缘检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆产品边缘检测装置，包括大理石平台1和大理石悬臂3，其特征在于：所述大理石平台1的下方四角处均固定连接有气浮垫2，所述大理石平台1的一端中部固定连接有大理石悬臂3，所述大理石平台1的上方中部固定连接有晶圆旋转平台4，所述晶圆旋转平台4的旋转输出端上方设置有晶圆主体15，所述晶圆旋转平台4在晶圆主体15的下方四等分处均设置有定位气缸组5，所述大理石悬臂3的顶部下方与晶圆主体15的圆心相对应的位置处固定连接有尺寸检测吊架6，所述尺寸检测吊架6的下方与晶圆主体15的边缘相对应的位置处固定连接有多个尺寸检测相机7，多个所述尺寸检测相机7的底部镜头处均固定连接有尺寸相机光源镜头8，所述晶圆旋转平台4的平台支架上方与多个尺寸相机光源镜头8相对应的位置处均固定连接有相机光源反射镜16； 所述大理石平台1的上方一侧固定连接有上缺陷检测支架9，所述上缺陷检测支架9靠近晶圆主体15的一侧在晶圆主体15的上方固定连接有缺陷检测上相机11，所述大理石平台1的上方远离上缺陷检测支架9一侧固定连接有下缺陷检测支架12，所述上缺陷检测支架9和下缺陷检测支架12靠近晶圆主体15的一侧在缺陷检测上相机11的下方固定连接有缺陷检测上光源10，所述下缺陷检测支架12靠近晶圆主体15的一侧在晶圆主体15的下方固定连接有缺陷检测下相机14，所述下缺陷检测支架12靠近晶圆主体15的一侧在晶圆主体15的上方固定连接有缺陷检测下光源13。

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