苏州芯矽电子科技有限公司梁一凡获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯矽电子科技有限公司申请的专利晶圆抓取移栽装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223624970U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422955720.5,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型晶圆抓取移栽装置是由梁一凡;李佳森;陈晨;张少阳设计研发完成,并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆抓取移栽装置在说明书摘要公布了:本实用新型揭示了一种晶圆抓取移栽装置,包括机架,所述机架上设有滑动块,所述滑动块可在驱动组件的驱动下上下滑动;所述滑动块上设有对称设置的固定杆,所述固定杆上快接有一支撑板,所述支撑板上固设有用以将花篮抓取的抓取装置;所述机架上还设有与机床上的齿条相啮合的齿轮,所述齿轮可由驱动源驱动其在所述齿条上沿其中轴线滑动。本实用新型的有益效果主要体现在:设计精巧,该装置可实现晶圆的批量移载,同时,采用丝杆传动是利用丝杆传动精度高,且移动稳定的特性,可满足晶圆移载的精度需求。另外该操作稳定可靠,且便于拆卸更换及维修,极大地提高工作效率。
本实用新型晶圆抓取移栽装置在权利要求书中公布了:1.晶圆抓取移栽装置,包括机架1,其特征在于:所述机架1上设有滑动块2,所述滑动块2可在驱动组件3的驱动下上下滑动;所述滑动块2上设有对称设置的固定杆4,所述固定杆4上快接有一支撑板5,所述支撑板5上固设有用以将花篮抓取的抓取装置6;所述机架1上还设有与机床上的齿条100相啮合的齿轮7,所述齿轮7可由驱动源8驱动其在所述齿条100上沿其中轴线滑动。
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