深圳鼎晶科技有限公司鉏辉获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳鼎晶科技有限公司申请的专利一种顶针机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223624973U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520584206.7，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种顶针机构是由鉏辉;罗志鹏;沈雨晨;钱震东;喻泷;余雄设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种顶针机构在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供一种顶针机构，用于顶起晶圆上的芯片，包括顶针单元与真空吸附组件，顶针单元包括顶针和顶针夹头；真空吸附组件包括顶针套以及真空单元，真空单元包括真空部和第二连接部；顶针套套设于顶针单元外部，且在顶针套的上端面上开设有顶针通道；通过顶针座外套的设置，以及在顶针座外套上开设气道和气路通道简化了顶针机构的结构，优化了真空气路，减少了真空气路的长度以及所需的连接件，大幅提高顶针机构的稳定性和真空可能存在的泄露问题；并且优选气道倾斜开设于顶针座外套上，且气道与气路通道的轴线夹角为钝角，这样在真空动作时，气阻更小，动作响应速度更快，更利于高速的抓取动作的实现。
本实用新型一种顶针机构在权利要求书中公布了：1.一种顶针机构，用于顶起晶圆上的芯片，其特征在于，包括顶针单元与真空吸附组件，所述顶针单元包括顶针和顶针夹头；所述真空吸附组件包括顶针套以及真空单元，所述真空单元包括真空部和第二连接部；所述顶针套套设于所述顶针单元外部，且在所述顶针套的上端面上开设有顶针通道；所述真空部包括顶针座外套，所述顶针套连接于所述顶针座外套上方；所述顶针座外套套设于所述第二连接部外且所述顶针座外套的上端沿轴向向所述顶针套延伸出延伸段，所述延伸段为中空的柱状结构，所述顶针座外套上开设有气道，所述延伸段的侧壁上开设有气体通道；所述气体通道的一端与气道连通，另一端向所述延伸段的上端面贯通；所述气道的开口处安装有气路接头；所述气道倾斜开设于所述顶针座外套上，且所述气道与气路通道的轴线夹角为钝角。
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