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龙图腾网获悉意法半导体股份有限公司申请的专利用于制造微机电设备、特别是电声模块的工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110745775B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910660882.7，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权用于制造微机电设备、特别是电声模块的工艺是由F·夸利亚;M·费雷拉;M·德尔萨尔托设计研发完成，并于2019-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于制造微机电设备、特别是电声模块的工艺在说明书摘要公布了：本公开涉及用于制造微机电设备、特别是电声模块的工艺。一种用于制造MEMS设备的工艺包括形成第一组件，第一组件包括：介电区域；再分布区域；以及多个单元部分。第一组件的每个单元部分包括：被布置在介电区域中的裸片；以及多个第一和第二连接元件，它们延伸至再分布区域的相对面并且通过在再分布区域中延伸的路径被连接在一起，第一连接元件被耦合至裸片。工艺进一步包括：形成包括多个相应的单元部分的第二组件，多个相应的单元部分中的每个相应的单元部分包括半导体部分和第三连接元件；机械耦合第一和第二组件，以将第三连接元件连接至对应的第二连接元件；并且然后去除第二组件的每个单元部分的半导体部分的至少一部分，从而形成对应膜。

本发明授权用于制造微机电设备、特别是电声模块的工艺在权利要求书中公布了：1.一种用于制造MEMS设备的方法，包括： 形成第一组件，所述第一组件包括： 介电涂层区域，所述介电涂层区域具有第一表面和第二表面； 介电再分布区域，所述介电再分布区域具有第一表面和第二表面，所述介电再分布区域的第一表面接触所述介电涂层区域的第一表面；以及 第一多个单元部分，所述第一多个单元部分彼此被横向间隔开，所述第一多个单元部分中的每个单元部分包括： 相应的裸片，所述相应的裸片被布置在所述介电涂层区域中并且包括对应的电子电路； 多个对应的第一导电连接元件，所述多个对应的第一导电连接元件被定位在所述介电涂层区域中，延伸至所述第一表面，并且被电耦合至所述相应的裸片； 多个对应的第二导电连接元件，所述多个对应的第二导电连接元件被定位在所述介电再分布区域中，并且延伸至所述介电再分布区域的所述第二表面；以及 多个导电再分布路径，所述多个导电再分布路径在所述介电再分布区域中延伸，并且将所述第二导电连接元件连接至所述第一导电连接元件； 形成包括第二多个单元部分的第二组件，所述第二多个单元部分中的每个单元部分包括相应的半导体部分和若干相应的第三导电连接元件； 机械耦合所述第一组件和所述第二组件，使得所述第二组件的每个单元部分的所述第三导电连接元件与所述第一组件的所述单元部分中的对应单元部分的所述第二导电连接元件电接触；以及 在机械耦合所述第一组件和所述第二组件之后，去除所述第二组件的每个单元部分的所述半导体部分的至少一部分，以从所述第二组件的每个单元部分开始形成多个对应的膜。

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