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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112509961B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010946497.1，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权加工装置是由山铜英之设计研发完成，并于2020-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本加工装置在说明书摘要公布了：提供加工装置，对卡盘工作台所保持的被加工物的与卡盘工作台相对的面进行拍摄。加工装置具有：卡盘工作台，其具有向上方露出的保持面并对载置在保持面上的板状的被加工物进行吸引保持；以及照相机单元，其对卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄，其中，卡盘工作台包含：保持部，其上表面构成保持面的一部分，对载置于保持面的被加工物作用负压；以及透光部，其使光通过，透光部包含第1区域，第1区域与卡盘工作台所保持的被加工物重叠并构成保持面的另一部分，透光部具有对从第1区域向透光部内行进的光进行反射的第1镜面，照相机单元通过对被卡盘工作台所保持的被加工物反射而在透光部内行进并被第1镜面反射的光进行检测，能够拍摄被加工物。

本发明授权加工装置在权利要求书中公布了：1.一种加工装置，其具有：卡盘工作台，其具有向上方露出的保持面并对载置在该保持面上的板状的被加工物进行吸引保持；照相机单元，其配设于该卡盘工作台的上方，对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行拍摄；以及加工单元，其根据该照相机单元的拍摄结果，对该被加工物进行加工， 其特征在于， 该卡盘工作台包含： 保持部，其上表面构成该保持面的一部分，对载置于该保持面的该被加工物作用负压；以及 透光部，其使光通过， 该透光部包含第1区域，该第1区域与该卡盘工作台所保持的该被加工物重叠并构成该保持面的另一部分， 该透光部具有第1镜面，该第1镜面对从该第1区域向该透光部内行进的光进行反射， 该照相机单元通过对被该卡盘工作台所保持的该被加工物的与该第1区域相对的第2区域反射而从该第1区域在该透光部内行进并被该第1镜面反射的光进行检测，能够拍摄该被加工物的该第2区域， 该加工装置还具有设置于该卡盘工作台的径向外侧的外部反射镜， 该透光部具有在该卡盘工作台的侧面露出的露出面， 该照相机单元在对该光进行检测时被定位于该外部反射镜的上方， 该外部反射镜将从该透光部的该露出面行进来的该光向该照相机单元反射。

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