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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利剥离装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113299580B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110187593.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权剥离装置是由伊藤史哲设计研发完成，并于2021-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本剥离装置在说明书摘要公布了：提供剥离装置，在将保护部件从晶片剥离时，不会发生晶片破裂或糊料残留，并且在不会花费无用的时间的情况下将保护部件从晶片剥离。剥离装置将保护板状工件的一个面的保护部件从该一个面剥离，其包含剥离单元，该剥离单元对覆盖保持单元的保持面所保持的板状工件的该一个面的保护部件的外周部分进行把持，将该保护部件从该板状工件的外周朝向中央剥离，并进一步从中央向该外周的相反侧的外周进行剥离。剥离单元包含：把持部，其对该保护部件的外周部分进行把持；移动单元，其使该把持部从该保持面的外周通过中心向远离中心的方向在一条直线上移动；以及拉伸载荷测量部，其对施加在介于该把持部与该保持面之间的该保护部件上的拉伸载荷进行测量。

本发明授权剥离装置在权利要求书中公布了：1.一种剥离装置，其将保护板状工件的一个面的保护部件从该一个面剥离，其中， 该剥离装置具有： 保持单元，其通过保持面对该板状工件的另一个面进行保持；以及 剥离单元，其对覆盖该保持面所保持的该板状工件的该一个面的该保护部件的外周部分进行把持，将该保护部件从该板状工件的外周朝向中央剥离，并进一步从该中央向该外周的相反侧的外周进行剥离， 该剥离单元包含： 把持部，其对该保护部件的外周部分进行把持； 移动单元，其一边使该把持部向远离该一个面的方向移动一边使该把持部和该保持单元沿与该保持面平行的方向相对地移动，使该把持部从该保持面的外周朝向中心并使通过了该保持面的该中心的该把持部向远离该中心的方向在一条直线上移动；以及 拉伸载荷测量部，其对施加在介于该把持部与该保持面之间的该保护部件上的拉伸载荷进行测量， 该拉伸载荷测量部具有： 水平方向拉伸载荷测量部，其测量与该保持面平行的方向的水平方向拉伸载荷； Z轴方向拉伸载荷测量部，其测量远离该一个面的方向的Z轴方向拉伸载荷；以及 计算部，其使用该水平方向拉伸载荷测量部的测量值、该Z轴方向拉伸载荷测量部的测量值以及下述的式来计算拉伸载荷， 水平方向拉伸载荷Fx2+Z轴方向拉伸载荷Fz2＝拉伸载荷F2， 通过由该拉伸载荷测量部测量施加于该保护部件的拉伸载荷，使该剥离单元的剥离动作最佳化。

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