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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于传输基板的装置、和用于处理基板的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113921433B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110778129.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权用于传输基板的装置、和用于处理基板的装置和方法是由郑镇优;李龙熙设计研发完成，并于2021-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于传输基板的装置、和用于处理基板的装置和方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种用于传输基板的装置、和用于处理基板的装置和方法。用于处理基板的装置包括第一工艺腔室，以对所述基板执行液体处理工艺；第二工艺腔室,以对在所述第一工艺腔室中液体处理的所述基板执行干燥处理工艺；第一手部,在执行所述液体处理工艺之前将所述基板引入至所述第一工艺腔室；第二手部，在执行所述液体处理工艺之后将所述基板从所述第一工艺腔室取出并且将所述基板引入到所述第二工艺腔室中；以及第三手部，在执行干燥处理工艺之后将所述基板从所述第二工艺腔室取出。

本发明授权用于传输基板的装置、和用于处理基板的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括： 第一工艺腔室，所述第一工艺腔室配置为对所述基板执行液体处理工艺； 第二工艺腔室，所述第二工艺腔室配置为对在所述第一工艺腔室中液体处理的所述基板执行干燥处理工艺； 第一手部，所述第一手部配置为在执行所述液体处理工艺之前、将所述基板引入至所述第一工艺腔室； 第二手部，所述第二手部配置为在执行所述液体处理工艺之后、将所述基板从所述第一工艺腔室取出并将所述基板引入到所述第二工艺腔室中； 第三手部，所述第三手部配置为在执行所述干燥处理工艺之后、将所述基板从第二工艺腔室取出；和 控制器，所述控制器配置为控制所述第一手部、所述第二手部和所述第三手部， 其中，所述控制器配置为： 控制所述第二手部以比通过所述第一手部或所述第三手部传输所述基板的速度低的速度传输所述基板， 其中，所述第一手部、所述第二手部和所述第三手部被提供至一个基板传输装置的主体， 所述第三手部、所述第一手部和所述第二手部在所述主体上、在竖直方向上设置在不同的高度处，以及 所述第一手部设置在所述第二手部的上方，并且所述第三手部设置在所述第一手部的上方。

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