买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术有限公司申请的专利阻抗匹配网络调节方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114499435B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111640705.6，技术领域涉及：H03H7/38；该发明授权阻抗匹配网络调节方法是由乐卫平设计研发完成，并于2021-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本阻抗匹配网络调节方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种阻抗匹配网络调节方法。所述方法包括：所述阻抗调节网络根据阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号，生成至少一个控制电压，并将所述控制电压发送至所述阻抗匹配网络，其中，所述入射信号为所述阻抗匹配网络传递至所述负载阻抗的信号，所述反射信号为所述负载阻抗返回至所述阻抗匹配网络的信号；所述阻抗匹配网络根据所述控制电压调节阻抗，得到调节后的匹配阻抗；其中，所述匹配阻抗与所述负载阻抗之和等于所述射频电源的电源阻抗。采用本方法能够通过控制电压来调节阻抗匹配网络的阻抗，无需通过伺服步进电机来改变阻抗匹配网络的阻抗，缩短了阻抗匹配的流程，从而提高阻抗匹配的速度。

本发明授权阻抗匹配网络调节方法在权利要求书中公布了：1.一种阻抗匹配网络调节方法，其特征在于，应用于射频电源系统，所述射频电源系统包括射频电源、阻抗匹配网络、阻抗调节网络和负载阻抗，所述阻抗匹配网络分别与所述射频电源、所述阻抗调节网络、所述负载阻抗电性连接，所述阻抗调节网络还与所述负载阻抗电性连接，所述方法包括： 所述阻抗调节网络根据阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号，生成至少一个控制电压，并将所述控制电压发送至所述阻抗匹配网络，其中，所述入射信号为所述阻抗匹配网络传递至所述负载阻抗的信号，所述反射信号为所述负载阻抗返回至所述阻抗匹配网络的信号； 所述阻抗匹配网络根据所述控制电压调节阻抗，得到调节后的匹配阻抗；其中，所述匹配阻抗与所述负载阻抗之和等于所述射频电源的电源阻抗； 所述阻抗调节网络包括定向耦合器、幅相测量芯片和控制模块，所述幅相测量芯片分别与所述定向耦合器、所述控制模块电性连接，所述控制模块与所述阻抗匹配网络电性连接； 所述阻抗匹配网络包括第一支路、第二支路、第三支路和第四支路，所述第一支路的第一端与所述第四支路的第一端电性连接于第一节点，所述第一支路的第二端与所述第二支路的第一端电性连接于第二节点，所述第二支路的第二端与所述第三支路的第一端电性连接于第三节点，所述第三支路的第二端与所述第四支路的第二端电性连接于第四节点，所述第一节点与所述射频电源的第一端电性连接，所述第二节点与所述射频电源的第二端电性连接，所述第三节点与所述定向耦合器电性连接，所述第四节点与所述负载阻抗电性连接；所述第一支路和所述第三支路为电感支路，所述电感支路包括串联的第一电容和第一电感；所述第二支路和所述第四支路为电容支路，所述电容支路包括串联的第二电容和第三电容； 所述控制电压包括第一电压和第二电压，所述第一电压用于调节所述第一支路和所述第三支路的阻抗，以调节可变电感的电感量，所述第二电压用于调节所述第二支路和所述第四支路的阻抗，以调节可变电容的容量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市恒运昌真空技术有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101, 201, 301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。