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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利一种测量聚焦环与晶圆片边缘间隙的无线装置和测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114812419B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210523266.9，技术领域涉及：G01B11/14；该发明授权一种测量聚焦环与晶圆片边缘间隙的无线装置和测量方法是由夏子奂设计研发完成，并于2022-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测量聚焦环与晶圆片边缘间隙的无线装置和测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆聚焦环间隙测量装置1，其包括一个晶圆片，并用于测量晶圆片与聚焦环之间的间隙，其特征在于至少如下装置被设置于所述晶圆片：间隙测量模块4，其用于测量所述晶圆片边缘与所述聚焦环之间的间隙距离；间隙采集模块5，其与所述间隙测量模块4连接，用于采集所述间隙测量模块4的测量信息，并将所述测量信息传输给上位机。还提供相适应的测量系统以及测量方法。通过本发明，可进行晶圆和聚焦环间隙的原位测量，免去了校准定位腔，节省了空间；可实现实时在位检测。

本发明授权一种测量聚焦环与晶圆片边缘间隙的无线装置和测量方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆聚焦环间隙测量装置1，其包括一个晶圆片，并用于测量晶圆片边缘与聚焦环之间的间隙，其特征在于至少如下装置被设置于所述晶圆片： 间隙测量模块4，其用于测量所述晶圆片边缘与所述聚焦环之间的间隙距离； 间隙采集模块5，其与所述间隙测量模块4连接，用于采集所述间隙测量模块4的测量信息，并将所述测量信息传输给上位机； 其中，所述间隙测量模块4为光学组件，至少包括： 光源件41，至少用于向所述聚焦环2发出入射光； 光电探测器42，其至少用于接收从所述聚焦环2返回的反射光，所述入射光以及所述反射光作为所述测量信息传输给所述间隙采集模块5； 驱动模块47，其至少用于提供驱动功能，以使得所述入射光形成的焦点位置发生改变； 所述间隙采集模块5至少包括： 处理模块6，其用于处理采集到的测量信息；以及 无线传输模块7，其与所述处理模块连接，并用于将所述采集到的测量信息传输给上位机； 用于测量晶圆片边缘与聚焦环之间的间隙时，所述晶圆聚焦环间隙测量装置1被放置并吸附于与所述聚焦环2相适应的静电吸盘3上，测量过程包括以下步骤： i.所述间隙测量模块发出入射光并接收反射光信号，将所述反射光信号以及所述间隙测量模块移动的步数信息发送给所述间隙采集模块； ii.所述间隙测量模块移动到下一测量位置并重复步骤i直至所述间隙测量模块已经移动到终点； iii.所述间隙采集模块根据所述反射光信号以及所述步数信息计算所述晶圆片与聚焦环之间的间隙距离。

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