苏州海光芯创光电科技股份有限公司林天营获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州海光芯创光电科技股份有限公司申请的专利一种晶圆探针卡及晶圆检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114859087B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210587180.2，技术领域涉及：G01R1/067；该发明授权一种晶圆探针卡及晶圆检测设备是由林天营;孙旭;胡朝阳设计研发完成，并于2022-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆探针卡及晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本发明涉及电子集成电路检测领域，特别是公开了一种晶圆探针卡及晶圆检测设备，包括器件探针及监控探针簇；所述监控探针簇包括主探针及第一辅助探针；所述第一辅助探针的最下端高于所述器件探针，所述主探针的最下端低于所述器件探针；所述主探针在与所述待测试晶圆接触后，随着所述晶圆探针卡继续下压，所述主探针沿第一方向滑行，当所述主探针与所述待测试晶圆接触，且所述晶圆探针卡与所述待测试晶圆之间的距离继续缩短第一距离后，所述主探针与所述第一辅助探针接触连接，形成告警回路。本发明避免了所述晶圆探针卡上的探针弯折，保障了所述晶圆探针卡的使用寿命，设备成本低，使用便捷，电路改造成本低，且具有较高的泛用性。
本发明授权一种晶圆探针卡及晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆探针卡，其特征在于，包括器件探针及监控探针簇； 所述器件探针能与待测试晶圆表面的微电路连接形成测试回路，以对所述待测试晶圆进行检测； 所述监控探针簇包括主探针及第一辅助探针； 所述第一辅助探针的最下端高于所述器件探针，所述主探针的最下端低于所述器件探针； 所述主探针为倾斜探针，所述主探针在与所述待测试晶圆接触后，随着所述晶圆探针卡继续下压，所述主探针沿第一方向滑行，所述第一辅助探针位于所述主探针的沿所述第一方向的滑行路径上； 当所述主探针与所述待测试晶圆接触，且所述晶圆探针卡与所述待测试晶圆之间的距离继续缩短第一距离后，所述主探针与所述第一辅助探针接触连接，形成告警回路。
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