江苏大学张赛获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏大学申请的专利一种具有聚焦功能的CMUT封装结构及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114979931B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210549454.9，技术领域涉及：H04R31/00；该发明授权一种具有聚焦功能的CMUT封装结构及其制备方法是由张赛;范哲滔;王任鑫;张国军;杨玉华;张文栋;穆罕默德·伊尔马兹;埃汉·博兹库尔特设计研发完成，并于2022-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有聚焦功能的CMUT封装结构及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有聚焦功能的CMUT封装结构及其制备方法，主要涉及电容式微机械超声换能器。该封装结构由上至下包括PDMS耦合层、声学超表面、金属支架、CMUT器件，环氧树脂层。外层由金属制成的壳体包裹。通过以所述壳体基础，在其中固定所属CMUT器件和声学超表面，通过壳体底部向CMUT器件与壳体之间的间隙填充环氧树脂。将所述整体放置于旋涂仪上，利用旋涂工艺灌注PDMS。而后放入真空箱中，加热固化形成PDMS层，完成封装。所述CMUT封装结构不仅具有高效聚焦性能，还对CMUT器件具有水密封装和阻抗匹配多种功能。可直接应用于水声领域或医学超声领域，如水下乳腺超声成像、水下目标探测等应用。
本发明授权一种具有聚焦功能的CMUT封装结构及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种具有聚焦功能的CMUT封装结构的制备方法，其特征在于，包括： 第一工序：根据CMUT器件4和声学超表面7的尺寸，设计壳体； 第二工序：设计所述声学超表面7与所述CMUT器件4之间的间隙距离，将所述声学超表面7利用金属支架6与所CMUT器件4相连接，形成整体A，再将所述整体A安装至外部壳体2中，粘合底部壳体3，并且使CMUT器件4的导线从底部壳体的出线孔穿出； 第三工序：通过壳体的底部的孔洞向CMUT器件背面和壳体底部之间填充环氧树脂，使所述整体A固定于壳体内部；再将整体置于旋涂仪上，利用旋涂工艺，透过声学超表面的缝隙同时灌注PDMS液体和PDMS固化剂，使其慢慢地由CMUT器件的正面覆盖至声学超表面的上部，再将整体放入真空箱中并设置真空度和温度，让PDMS混合液中的气泡排出，并且干燥整体。
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