昭和电工材料株式会社满仓一行获国家专利权
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龙图腾网获悉昭和电工材料株式会社申请的专利感光性树脂组合物、感光性树脂组合物的分选方法、图案固化膜的制造方法及半导体装置的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115151868B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080097092.3，技术领域涉及：G03F7/26；该发明授权感光性树脂组合物、感光性树脂组合物的分选方法、图案固化膜的制造方法及半导体装置的制造方法是由满仓一行;今津裕贵;青木优;小峰卓也设计研发完成，并于2020-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光性树脂组合物、感光性树脂组合物的分选方法、图案固化膜的制造方法及半导体装置的制造方法在说明书摘要公布了：本公开涉及一种感光性树脂组合物的分选方法，其中，以100～2000mJcm2对感光性树脂组合物的树脂膜进行曝光，在氮气下以150～250℃进行1～3小时的热处理，来制作膜厚10μm、宽度10mm的固化膜的长条样品，在设定温度成为25℃、夹头间距离成为20mm、试验速度成为5mmmin、重复荷载的应力成为100MPa的条件1或设定温度成为‑55℃、夹头间距离成为20mm、试验速度成为5mmmin、重复荷载的应力成为120MPa的条件2下，进行重复拉伸长条样品的疲劳试验，分选在疲劳试验中直到长条样品断裂为止的拉伸次数成为100循环以上的感光性树脂组合物。
本发明授权感光性树脂组合物、感光性树脂组合物的分选方法、图案固化膜的制造方法及半导体装置的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种感光性树脂组合物的分选方法，其中， 以100～2000mJcm2对感光性树脂组合物的树脂膜进行曝光，在氮气下以150～250℃进行1～3小时的热处理，来制作膜厚10μm、宽度10mm的固化膜的长条样品， 在设定温度成为25℃、夹头间距离成为20mm、试验速度成为5mmmin、重复荷载的应力成为100MPa的条件下，进行重复拉伸所述长条样品的疲劳试验， 分选在所述疲劳试验中直到所述长条样品断裂为止的拉伸次数为100循环以上的感光性树脂组合物。
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