杭州士兰集昕微电子有限公司;杭州士兰集成电路有限公司孙样慧获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州士兰集昕微电子有限公司;杭州士兰集成电路有限公司申请的专利半导体结构及其制造方法、集成电路及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115241271B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210570955.5,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权半导体结构及其制造方法、集成电路及其制造方法是由孙样慧;陈洪雷;吴晶;田浩洋;方长城设计研发完成,并于2022-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体结构及其制造方法、集成电路及其制造方法在说明书摘要公布了:公开了一种半导体结构及其制造方法、集成电路及其制造方法,半导体结构包括:衬底,衬底具有第一掺杂类型;位于衬底上的外延层,外延层具有第二掺杂类型,第一掺杂类型和第二掺杂类型相反;位于外延层中的基区、发射区以及集电区,其中,基区和集电区彼此隔离,发射区与基区接触且与集电区隔离,基区具有第一掺杂类型,发射区和集电区具有第二掺杂类型;位于外延层上的第一隔离结构和第二隔离结构,第一隔离结构将基区和集电区隔离,第二隔离结构将发射区的侧边与基区隔离。本申请中第二隔离结构将发射区的侧边与基区隔离,可以降低发射区与基区之间的寄生电容,提高半导体结构的特征频率。
本发明授权半导体结构及其制造方法、集成电路及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体结构,其特征在于,包括: 衬底,所述衬底具有第一掺杂类型; 位于衬底上的外延层,所述外延层具有第二掺杂类型,所述第一掺杂类型和所述第二掺杂类型相反; 位于所述外延层中的基区、发射区以及集电区,其中,所述基区和所述集电区彼此隔离,所述发射区与所述基区接触且与所述集电区隔离,所述基区具有第一掺杂类型,所述发射区和所述集电区具有第二掺杂类型; 位于所述外延层上的第一隔离结构和第二隔离结构,所述第一隔离结构将所述基区和所述集电区隔离,第二隔离结构将发射区的侧边与所述基区隔离, 所述基区包括本征基区和非本征基区,所述非本征基区位于所述本征基区的一侧并与所述本征基区接触,所述本征基区围绕所述发射区并与发射区接触, 所述集电区位于所述本征基区远离所述非本征基区的一侧。
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