北京理工大学;佛山光微科技有限公司赵晖获国家专利权
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龙图腾网获悉北京理工大学;佛山光微科技有限公司申请的专利一种基于MEMS的双模态耳科检测仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115486800B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210915262.5,技术领域涉及:A61B1/227;该发明授权一种基于MEMS的双模态耳科检测仪是由赵晖;谢会开;潘腾设计研发完成,并于2022-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于MEMS的双模态耳科检测仪在说明书摘要公布了:本发明公开的一种基于MEMS的双模态耳科检测仪,属于医学成像领域。本发明包括OCT成像模块、超声成像模块、控制器、成像探头。将MEMS微镜、环形MEMS超声换能器等器件内置集成在检测仪成像探头端,通过MEMS微镜和超声换能器的通孔设置,充分利用MEMS微镜的小尺寸和大扫描角度,环形MEMS超声换能器小型化等特点,使得微镜实现前视扫描,提供更大OCT成像视场的同时保持较小的探头直径,达到OCT前视扫描成像与超声成像的双模态同时成像的效果。本发明还公开一种基于MEMS的大视场双模态耳科检测仪,成像探头端通过紧凑的光电和结构共轴设计,在保持较小尺寸的同时能够实现更大的OCT扫描成像范围。
本发明授权一种基于MEMS的双模态耳科检测仪在权利要求书中公布了:1.一种基于MEMS的双模态耳科检测仪,其特征在于:主要由OCT成像模块、超声成像模块、控制器、成像探头组成; 所述OCT成像模块用于高分辨医学成像;OCT成像模块包括光源1、光隔离器2、单模光纤3、光纤耦合器4、偏振控制器5、光学延迟线6、成像探头7、探测器9、第一数据采集卡10和处理电脑14; 光源1发出一束红外波段的部分相干光,经过光隔离器2、单模光纤3与光纤耦合器4相连,经过光纤耦合器4的分光,光束分为两路,一路光经过偏振控制器5的偏振态调整,通过成像探头7对耳朵8的成像探测,MEMS控制器11对成像探头7内置的MEMS微镜进行扫描控制,从而选取感兴趣的成像扫描区域;另一路光经过偏振控制器5的偏振态调整,通过光学延迟线6调节和匹配光程,使两路光束经过的光程相等;成像探头7采集的信号沿原路返回并与另一路光在光纤耦合器4处发生干涉,探测器9将光干涉信号转化为电信号后经过第一数据采集卡10,处理电脑14接收到采集的信号后经过计算处理,生成中耳及内耳OCT图像;当光源1为扫频光源时,会有同步触发信号生成,用于与第一数据采集卡10进行采集和成像的同步控制; 所述超声成像模块用于大深度医学成像;超声成像模块包括成像探头7、滤波放大器12、第二数据采集卡13、处理电脑14;MEMS控制器11对成像探头7内置的环形MEMS超声换能器进行控制,用于产生高频超声信号,超声信号经过耳朵8反射后被环形MEMS超声换能器接收,将超声信号转换为电信号,并通过滤波放大器12的处理,信号被第二数据采集卡13传输至处理电脑14进行计算,生成中耳及内耳超声图像; 所述成像探头为该双模态耳科检测仪的核心部件;该成像探头主要由单模光纤3、基座703、环形MEMS微镜704、反射镜705、成像透镜组706、吸声层707、环形MEMS超声换能器708、传导液709、窗口玻璃711组成;其中OCT成像器件位于探头前半段,超声成像器件位于探头后半段;第一电缆线701、第二电缆线702分别为环形MEMS超声换能器708和环形MEMS微镜704控制和接收信号的电缆线,第一电缆线701与MEMS控制器11和滤波放大器12相连,第二电缆线702与MEMS控制器11相连; 单模光纤3被基座703固定在探头中心位置,环形MEMS微镜704也固定在基座表面,中间设置用于放置单模光纤3的通孔,其驱动方式为电热、静电驱动或其他驱动方式;单模光纤3发出的光束以一定的发散角入射到反射镜705的镜面上后,反射到环形MEMS微镜704的表面,该环形MEMS微镜704表面有大面积的反射层,能够实现X、Y两轴方向的角度偏转,光束经过微镜704的二次反射和成像透镜组706,汇聚在成像焦面710上,能够对成像焦面上的物体进行OCT扫描成像;吸声层707的主要作用是吸收晶片背向发射的超声波,隔绝传导液709,固定环形MEMS超声换能器708的位置,其需是透明导光的,环形MEMS超声换能器708是压电超声换能器PMUT阵列,通过阵列的排布增加探测点数,换能器中间开有通孔,用于光线通过,该环形MEMS超声换能器708能够发射和接收超声信号,其中心与单模光纤3和环形MEMS微镜704共轴,表面能够保持一定曲率,曲率焦点位于焦平面710上,用于增强接收超声信号实现超声成像,传导液709用于声波的传导,并且需是绝缘的液体; 环形MEMS微镜704主要由衬底7041、驱动臂7042、连接固定端子7043和反射镜面7044组成,衬底7041用于放置焊盘,边缘部分留有用于第二电缆线702走线的缝隙,驱动臂7042提供X、Y两轴的角度偏转,反射镜面7044中心开有通孔,该通孔尺寸稍大于光纤直径;环形MEMS超声换能器708主要由压电层7081、弹性层7082和空腔层7083组成,压电层7081的伸张和收缩能够带动弹性层7082发生形变,形成振动并通过空腔层7083产生超声波信号。
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