芯三代半导体科技(苏州)有限公司蒋家旺获国家专利权
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龙图腾网获悉芯三代半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种光纤高温计用高温校准炉及温度校正方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116026481B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211659458.9,技术领域涉及:G01J5/53;该发明授权一种光纤高温计用高温校准炉及温度校正方法是由蒋家旺;刘中良;蒲勇设计研发完成,并于2022-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光纤高温计用高温校准炉及温度校正方法在说明书摘要公布了:本申请公开一种光纤高温计用高温校准炉及校正方法。该高温校准炉包括:电阻丝炉膛模块包括:外壳,其内具有收纳下炉膛、中炉膛及上炉膛的容置腔体,该中炉膛的截面呈H形,下炉膛及上炉膛分别有匹配的凸起,中炉膛的中部具有沿其轴向贯穿的通孔;电阻丝镶嵌在中炉膛中且呈螺旋形设置,电阻丝的两端经引线电性连接外壳上的电阻丝接线端子;测温管设置于下炉膛的顶面,且沿中炉膛的中轴线设置,测温管内设置有沿其轴向设置的热电偶固定杆,热电偶固定杆的端部设置有电性连接至电控模块的温控器的热电偶;沿上炉膛的轴向中线设置有连通测温管的出温筒,且出温筒对着光纤高温计。该高温校准炉能节约校正时间且易操作。
本发明授权一种光纤高温计用高温校准炉及温度校正方法在权利要求书中公布了:1.一种光纤高温计用高温校准炉,用于校准CVD设备的光纤高温计,其特征在于,包括: 电阻丝炉膛模块,其包括: 筒状的外壳,所述外壳内具有容置腔体,所述容置腔体容纳共轴线的下炉膛、中炉膛及上炉膛,所述中炉膛的截面呈H形,所述下炉膛的中部及上炉膛的中部分别有匹配的凸起,所述中炉膛的中部具有沿其轴向贯穿的第二通孔; 电阻丝镶嵌在中炉膛内,且呈螺旋形设置,所述电阻丝的两端分别经引线穿过所述下炉膛及外壳并电性连接电阻丝接线端子,所述电阻丝呈螺旋形设置,且所述螺旋形设置的电阻丝的内径比所述中炉膛的第二通孔的直径大1-2mm,所述螺旋形设置的电阻丝的螺距为电阻丝直径的1.2-1.5倍; 测温管设置于所述下炉膛的顶面上,且沿所述中炉膛的中轴线设置,所述测温管内设置有沿其轴向设置的热电偶固定杆,所述热电偶固定杆的靠近所述上炉膛侧的端部设置有热电偶,所述热电偶距离所述测温管的基面的距离介于1-2mm,所述热电偶电性连接至电控模块的温控器; 沿所述上炉膛的轴向中线设置有中空的出温筒,其连通所述测温管的基面,且所述出温筒连通光纤高温计,所述光纤高温计检测所述测温管的基面产生的热辐射。
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