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龙图腾网获悉西北大学申请的专利一种利用模具构建特定限域空间制备高均匀度石墨烯薄膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116281980B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310261737.8，技术领域涉及：C01B32/186；该发明授权一种利用模具构建特定限域空间制备高均匀度石墨烯薄膜的方法是由白晋涛;魏文泽;王惠设计研发完成，并于2023-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种利用模具构建特定限域空间制备高均匀度石墨烯薄膜的方法在说明书摘要公布了：一种利用模具构建特定限域空间制备高均匀度石墨烯薄膜的方法，它涉及一种石墨烯薄膜的制备方法。本发明的目的是要解决目前化学气相沉积生长的石墨烯需要转移步骤和以绝缘材料为基底生长石墨烯薄膜会受到成核时间长，生长速率慢，缺陷更多的影响，限制了石墨烯应用的问题。方法：一、超声清洗；二、将超声清洗后的非金属衬底放入超声清洗后的耐高温模具的中心凹槽内，再使用超声清洗后的盖片覆盖到耐高温模具中心的凹槽上；三、将装有非金属衬底的反应器放置在高温管式炉中央处，采用化学气相沉积法在非金属衬底上生长石墨烯薄膜，得到高均匀度石墨烯薄膜。本发明可获得一种利用模具构建特定限域空间制备高均匀度石墨烯薄膜的方法。

本发明授权一种利用模具构建特定限域空间制备高均匀度石墨烯薄膜的方法在权利要求书中公布了：1.一种利用模具构建特定限域空间制备高均匀度石墨烯薄膜的方法，其特征在于该方法具体是按以下步骤完成的： 一、超声清洗： 依次使用丙酮、异丙醇和超纯水为溶剂对非金属衬底、盖片和中心具有凹槽的耐高温模具进行超声清，再使用氮气吹干，得到超声清洗后的非金属衬底、盖片和中心具有凹槽的耐高温模具； 步骤一中所述的非金属衬底的材质为硅片； 步骤一中所述的非金属衬底的尺寸为Ls×Ls×d1，其中Ls＝1.5cm，d1＝0.06cm； 步骤一中所述的盖片的材质为硅片； 步骤一中所述的盖片的尺寸为Wo×Wo×d3，其中Wo＝3cm，d3＝0.06cm； 步骤一中所述的中心具有凹槽的耐高温模具的材质为刚玉； 步骤一中所述的中心具有凹槽的耐高温模具的外部尺寸为Lt×Lt×d，凹槽的尺寸为Ls×Ls×d2，Ls＝1.5cm，Lt＝5cm，d＝0.5cm，d2＝0.1cm； 二、将超声清洗后的非金属衬底放入超声清洗后的耐高温模具的中心凹槽内，再使用超声清洗后的盖片覆盖到耐高温模具中心的凹槽上，其中盖片中心与凹槽中心对齐，得到装有非金属衬底的反应器； 三、将装有非金属衬底的反应器放置在高温管式炉中央处，采用化学气相沉积法在非金属衬底上生长石墨烯薄膜，得到高均匀度石墨烯薄膜； 步骤三中所述的化学气相沉积法的工艺过程具体如下：向高温管式炉中通入惰性气体和氢气，控制惰性气体的流量为120mLmin，控制氢气的流量为30mLmin，将装有非金属衬底的反应器升温至1180℃，在1180℃下保持10min；保持惰性气体和氢气的流速不变，在1180℃下向高温管式炉中通入碳源气体，石墨烯在非金属衬底上生长，生长时间为3h，生长结束后关闭碳源气体，在惰性气体和氢气保护下冷却至室温，得到高均匀度石墨烯薄膜； 所述的惰性气体为氩气； 所述的碳源气体为：甲烷，控制甲烷的流量为1.5mLmin； 所述的碳源气体、氢气与惰性气体的流量比为1.5:30:120。

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