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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学(深圳)申请的专利一种磁性悬臂梁传感器及其制作方法和一种显微成像系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116381277B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310178281.9，技术领域涉及：G01Q60/08；该发明授权一种磁性悬臂梁传感器及其制作方法和一种显微成像系统是由薛高鹏;王增义;钱虹霖;代浩天;李兵设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磁性悬臂梁传感器及其制作方法和一种显微成像系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磁性悬臂梁传感器及其制作方法和一种显微成像系统，该磁性悬臂梁传感器包括玻璃基底、硅基悬臂梁、磁体、吸气单元和硅基盖体，其中玻璃基底上设有相连通的第一腔室和第二腔室，第二腔室位于第一腔室的底部，硅基悬臂梁的固定端固定连接在玻璃基底的第一腔室的底部，磁体固定连接在硅基悬臂梁的自由端，磁体的高度和硅基悬臂梁的厚度之和小于第一腔室的深度，吸气单元置于第二腔室内，硅基盖体固定连接在玻璃基底位于第一腔室上方的开口端，且硅基盖体上开设有感测窗口，感测窗口位于磁体的上方。本发明能够在拥有高真空环境的基础上具备更高的探测灵敏度。

本发明授权一种磁性悬臂梁传感器及其制作方法和一种显微成像系统在权利要求书中公布了：1.一种磁性悬臂梁传感器，其特征在于，包括玻璃基底、硅基悬臂梁、磁体、吸气单元和硅基盖体，其中所述玻璃基底上设有相连通的第一腔室和第二腔室，所述第二腔室位于所述第一腔室的底部，所述硅基悬臂梁的固定端固定连接在所述玻璃基底的所述第一腔室的底部，所述磁体固定连接在所述硅基悬臂梁的自由端，所述磁体的高度和所述硅基悬臂梁的厚度之和小于所述第一腔室的深度，且所述磁体的顶端与所述硅基盖体之间的间隙为0.1~1μm，以使得待测试样可以在更大的范围内被所述磁性悬臂梁传感器所感测到，提高所述磁性悬臂梁的探测灵敏性；所述吸气单元置于所述第二腔室内以吸收阳极结合过程中产生的气体，所述硅基盖体固定连接在所述玻璃基底位于所述第一腔室上方的开口端，且所述硅基盖体上开设有感测窗口，所述感测窗口位于所述磁体的上方； 其中，所述硅基盖体采用包括衬底层、氧化层和器件层的SOI晶圆制成，所述感测窗口是通过在所述硅基盖体位于所述磁体的上方位置处去除所述衬底层和所述氧化层形成的硅薄膜窗口。

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